摘要：研究开发了一种新型的大行程二维压电微动工作台。介绍了弧曲位移放大机构的工作原理,分析了影响放大机构性能的因素;工作台的柔性铰链、弹性平行导板机构、弧曲位移放大机构,采用一体化设计,实现了大行程,并满足了传动导向的高精度、高稳定性要求;与采用杠杆放大的二维工作台作了简单比较,对各自的优缺点作了客观分析。

摘要：介绍了一种根据仿生学原理设计而成的由电致伸缩微位移器为驱动元件的大范围高精度的微动工作台，该工作台采用电致伸缩微位移器直接驱动的柔性铰链机构，使其既可以在小范围内实现高精度的微动，又可以实现大范围的宏动。同时还对工作台的特性进行了测试实验和分析。

摘要：主要介绍了用于六自由度微动工作台的柔性铰链即双向柔性铰链和万向柔性铰链的设计过程 ,根据微动台中柔性铰链的设计要求 ,分析了微动台运动时驱动力与铰链变形的关系 ,确定了满足驱动力条件的柔性铰链刚度范围 ,并结合柔性铰链强度条件、工作台动态特性以及柔性铰链转角刚度与结构尺寸的关系 ,进一步确定柔性铰链的刚度和结构尺寸 ,合理设计柔性铰链 .另外 ,通过有限元分析软件分析了柔性铰链最大受力时的应力分布情况 ,对柔性铰链的强度进行了校核 。

摘要：本文提出精密微动工作台中的压电马达特性与应用和弹性铰链结构的原理及简单设计.

摘要：通过有限元法的应用,建立了微动工作台静、动特性的有限元分析模型,分析了柔性铰链在几个主要影响因素下的位移、应力分布以及固有频率和振型。应用正交试验设计,全面分析结构主要参数对微动工作台的静、动特性的影响。用逐步回归分析方法对数值计算结果进行回归,获得了微动工作台的性能及其结构尺寸的回归方程,并研制样机对其进行了验证。

摘要：介绍了一种无耦合运动的二自由度微位移工作台,该结构便于微位移工作台尺寸的小型化。文中推导了工作台载荷与位移的关系式;采用有限元的方法对工作台三维模型进行仿真计算,得到该工作台对应于载荷的位移和应力值。有限元计算的结果和推导公式的计算结果相吻合。

摘要：针对目前微纳定位工作台工作空间密度小的问题,设计了一种新型二自由度对称式并联微纳定位工作台。分析了影响平行四边形位移放大机构变形的主要因素;对直圆柔性铰链、平行板柔性铰链和倒圆角直梁型柔性铰链进行刚度计算;采用能量法和位移矩阵得出平行四边形位移放大机构输出力和载物台运动位移的计算公式;优化平台尺寸,并对优化后的结果进行有限元仿真和实验分析。实验后得到设计平台的工作空间尺寸为143.7μm×142.1μm,工作空间密度可达2.521μm^2/mm^2,与同类型平台相比,能够实现较大的工作空间密度。

摘要：介绍了微动工作台中弹性板簧导轨的设计方法、特性误差的计算 ,重点叙述了载荷反对称布置的弹性导轨使微动台产生独立转动自由度的方法 .与以柔性铰链为主体的平面三自由度微动工作台相比 ,弹性板簧导轨式的微动工作台力学模型简单 ,无原理误差 ,从而提高了工作台的位移精度 ,避免工作台在各运动方向之间的耦合 .在板簧上粘贴应变片还可以测出微动台的位移 ,简化了测量系统 .

摘要：弹性铰链结构是微动工作台的核心部件。提出了双平行弹性铰链结构设计的要求和设计原则;在满足双平行弹性铰链的刚度、输出位移、应力、弹性恢复力及固有频率等条件下,运用理论与有限元分析的方法对双平行弹性铰链结构设计进行了研究。

摘要：微位移工作台是实现高精度定位的关键部件,传统的工作台自由度少且分辨力不高,不能满足应用需求,因此提出一种六自由度高精度微位移工作台结构方案并验证了其性能。在整体结构上采用“串并联混合驱动”的方式和中空结构,将六个自由度的运动合理地分布在平动层,转动层和支撑层三层结构中,并设计开发了工作台的运动控制系统以及一套可搭配使用的运动控制软件。实验结果表明,X,Y,Z轴线位移分别优于20,20和37 μm,角位移行程分别优于39",33"和27";线位移分辨力均优于0.7 nm,角位移分辨力均优于0.1"。所提出的六自由度微位移工作台相比于传统工作台具有自由度多、极高分辨力等优点,有望在超精密加工,微电子制造等领域中获得广泛的应用。