摘要：在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上,根据传感器的灵敏度与线性度特点,设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器。在满足计算要求的条件下,对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真;并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值。仿真结果表明,该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值。

摘要：完成了微压力传感器接口电路设计。采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输出的模拟变量,然后用INA118放大器将此信号放大,用7715A/D进行模数转换,将转换完成的数字量经单片机处理,最后由LCD将其显示,采用LM334做的精密5 V恒流源为电桥电路供电。既能保证检测的实时性,也能提高测量精度。

摘要：对动态微压力传感器可靠性验证试验方案进行了实用设计，用寿命试验的观察结果对可靠性指标进行计算，以验证其可靠性指标ＭＴＢＦ达到的水平。

摘要：硅微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器。进一步研制小体积高精度的传感器,扩大其应用范围已势在必行。本工作主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果。

摘要：为了提高小量程微压力传感器的灵敏度,提出了一种新结构模型,通过理论分析,发现硅膜越薄,量程越小,灵敏度越高。并对此模型进行ANSYS应力仿真,发现在小量程负荷条件下,新结构模型应力峰值约为10.7 MPa,C型硅杯应力峰值为2.25 MPa,E型硅杯应力峰值为2.8 MPa,通过比较可以看出,优化后的模型提高了微型压力传感器的灵敏性,验证了此模型的合理性。这种优化设计方法对小量程、高灵敏度微型压力传感器的研制具有一定的参考价值。

摘要：研究了一种量程为20kPa的压阻式微压力传感器,同时采用ANSYS仿真得出影响传感器性能的一些规律。应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片结构,并对圆形膜片与方形膜片进行了比较,同时设计了硅芯片以及压敏电阻的尺寸和阻值。通过模型分析和对方型硅膜片的模拟计算,确定了压敏电阻最佳放置位置,来提高灵敏度;并在各个不同的压力下仿真出应力分布图、得出输入—输出关系图及应力峰值。研究为压阻式微压力传感器的结构以及优化、稳健设计提供了一定参考。

摘要：设计了一种基于压阻式压力传感器的测试装置,该测试装置由压力容器、测试电路和温控系统三部分组成。利用该测试装置对实验室设计制作的压阻式压力微传感器压力输出特性进行了实验测试,并对测试结果进行了对比分析,结果表明该测试装置的设计是有效可行的,这为以后的传感器测试工作提供了参考基础。同时研究了不同环境温度对传感器灵敏度的影响。

摘要：设计了一种基于静电纺丝技术制备的多铁压电纳米纤维微压力传感器结构,对其工作原理做出了理论分析。近似平行排列的纳米纤维沉积到叉指电极上,电极材料生长于硅基底方形弹性膜片上表面,用小挠度理论设计计算了方膜结构,并对固支结构的纤维进行了力学分析。由纤维压电效应计算出传感器输出电压,并对传感器的结构尺寸进行比较分析,以提高传感器输出电压。

摘要：本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径仅为腐蚀深度的２．６７倍的小尺寸正八边形单晶硅膜，其力学性能大大优于同样面积的等厚方形单晶硅膜，满足微动力机械的要求。

摘要：当压力作用在ZnO压电薄膜微悬臂梁上时,产生电荷量的大小将直接决定压电传感器灵敏度的高低。根据等效截面法,推导了复合微悬臂梁所受的作用力与其产生电荷量的关系方程,为传感器标定和力的测量提供理论依据,并依据此转换方程,对压电微悬臂梁的结构尺寸进行比较分析,以提高传感器的灵敏度和分辨率。此研究为压电微悬臂梁压力传感器的结构优化设计提供了一定的参考。