摘要：主要对基于三维微光机电系统(MEMS)的光开关结构进行研究,分析一种新型结构紧凑、高可靠性、大容量的光开关结构,并与常规结构的三维微光机电系统的光开关进行对比,在保证设计参数不变的情况下,保证系统全连接的情况下,可以减少微镜的最大偏转角,从而实现快速的光路切换,并且采用静电梳状微致动器能进一步降低工作电压,实现低功耗和快速的交叉连接,并对系统设计需注意的事项进行分析。

摘要：和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域。讨论了微型光谱仪结构特点、关键技术和发展趋势;对多种微型光谱仪的工作原理和相应的工艺流程做了较为详细的总结;结合国内微型光机电系统制作工艺,分析了几类微型光谱仪的制作难点及其设计方案的可行性。探讨了在分辨率要求不太高的情况下微型光谱仪的多个潜在应用领域。

摘要：基于光子晶体微腔的腔光机加速度计将机械谐振子及高品质因数光子晶体腔相结合,其中的机械振子在机械震荡模式下对微弱力/位移敏感的特性,可以实现极低的噪声水平,理论上能够达到标准量子噪声极限,是高精度加速度计的重要发展方向。对拉链式光子晶体腔光机加速度计的原理和结构特点进行分析,设计了一种应用于加速度计的硅基拉链式光子晶体腔和机械振子结构。分析了拉链腔的结构参数对光学Q值的影响,通过调节结构参数将光腔的谐振频率控制在195 THz附近,并分析了机械振子和光腔的机械谐振特性,光腔的有效质量为30 pg,加上机械振子后有效质量为3.1 ng,光机耦合率达到GHz/nm量级,为基于硅基拉链腔加速度计的制造和表征提供了指导。

摘要：设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底 1× 4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动 ,微反射镜绕直径 10 0 μm转轴转动 ,驱动电压为 5V ,开关时间小于 2ms,插入损耗小于 0 .84dB ,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场 ,进行结构优化设计 。

摘要：数字微镜器件(DMD)专门用于对空间光进行振幅和相位调制。针对DMD特有的MEMS结构和μs级响应速度,提出将DMD作为空间光调制器(SLM)来实现高性能真三维立体显示系统。研究了DMD的工作原理,进行了DMD专用显示控制模块和通用控制算法的设计,实验结果表明:DMD响应速度远远优于振镜,用DMD构建简洁型的真三维立体显示系统,对提高系统处理速度和显示性能是非常有利的。

摘要：自从1957年10月4日苏联发射第一颗人造地球卫星以来,随着科学技术的不断进步和发展,空间技术也取得了巨大的进展.人类不仅制造出了各种各样、功能各异的卫星,而且还建造了空间站、实现了载人航天.