摘要：本文以廉价的微型加热器为被控对象,中文组态王Kingview为编程语言,介绍应用现代控制理论之一元连续型动态规划原理进行控制。最后介绍了基于众多的控制工艺流程、控制算法和编程语言,生成庞大的自动控制设计课题树(拥有两两相异的数万个课题叶子)。

摘要：介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400℃时功耗仅为26 mW,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.

摘要：以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5,300]K的温度区间内,加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度,电阻值达到Kondo最小值;在[35,55]K的温度区间,温度系数降至8.9×10^(-6) K^(-1)。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性,具有在低温环境中应用的潜力。

摘要：设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明:在450℃氮气环境下退火30min,可以获得深低温性能优良的NiCr加热器。该加热器在20K时的电阻温度系数(TCR)为80.80×10-6/K。X射线衍射(XRD)分析显示NiCr薄膜在450℃氮气环境下退火后,薄膜的结晶度增大,因此,退火条件对薄膜的电阻率和电阻温度系数有较大的影响。

摘要：针对本课题组早些时候研制的用于微量组织液透皮抽取的微流控芯片,研究了一种基于偶氮双异丁腈(azobi-sisobutyronitrile,AIBN)热分解产生气体的微型正压源,用于为微流控芯片中微量组织液的收集和输运提供驱动力。将AIBN固定到微型加热器上,微型加热器加热AIBN至70℃即可产生一定的正压力。实验结果表明,设计的微型正压源压力可控、易于制造、体积小,8.7mg的AIBN在900mA加热电流下可产生182kPa的压力,满足对微流控芯片中组织液透皮抽取所需的驱动力。

摘要：美国微型加热器国际公司开发出一种恒定的单一气体中温等离子发生器装置，其工作原理是，在恒定的101.3千帕条件下，将空气转化成氮等离子。等离子气弧被设计用于大型部件的局部热。