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检索条件"主题词=微型应变芯片"
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φ4半导体微型应变芯片设计
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《仪表技术与传感器》1995年 第1期 29-31,40页
作者：叶碧涛华南师范大学量电所广州市510631 
本文介绍半导体微型应变芯片的设计依据,对φ4芯片进行设计计算,提出实现的工艺途径。
来源：详细信息评论
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