摘要：稳定性和粘附在微型机械的制造和运动过程中是很重要的问题。由于微型机械运动构件之间的间隙通常处于微米、纳米量级,因此需考虑量子力学的影响,如Casimir力。首先对两平行的多晶硅平板之间的Casimir力进行了分析,并考虑表面粗糙度、导电常数和温度的影响,然后讨论了Casimir力对微腔的薄膜结构的作用。当只考虑Casimir力作用时,该结构存在稳定的平衡态和不稳定的非平衡态,由量纲-数K值决定。如果K值大于极值K1,该结构就会塌陷。极值K1随薄膜与固定面之间的距离变化而变化。这为评价该系统在给定尺寸参数、材料特性和没有其他力的影响下的稳定性提供了依据,而且可设计出高L/δ比值、不出现塌陷的微型机械薄膜微腔结构。

摘要：硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料 ,它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命 ,而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点 ,可供微机电系统的设计和制造者参考。

摘要：本文叙述了微摩擦机理，介绍几种测量微摩擦系数的方法和原理，提出我国微摩擦学的发展战略。

摘要：概述了国内外 MEMS材料力学特性的测量原理、方法和特点 ,主要包括弹性模量、残余应力、疲劳特性、破坏强度的测量 ,为微机电系统的设计和制造提供有益的参考。

摘要：论述了在“微型机械运动参数测试仪”中的微弱信号提取问题，由于正确地选择光敏接收器及电路设计，成功地实现了对微弱信号的提取。

摘要：论述了对微型齿轮、微型涡轮和微型悬臂梁等微型机械零件的研制．介绍了通过计算机辅助设计，利用ＩＣ的微细加工技术。

摘要：本文简介了微型机械方面研究的主要成果和应用前景，并明确了发展微型机械的关键问题。

摘要：本文阐述微型机械设计的一些新问题，包括：微小型化的尺寸效应、防止和利用摩擦、运动形式选择及能源等问题处理思路。

摘要：日本第11届微型机械展览会于2000年12月在日本通产省隆重举行。走进展览会会场,你会发现,这是一个显微镜的世界,不仔细看就难以发现每个摊位的展品是什么,而且即使知道展品是什么。

摘要：针对微型机电系统发展过程中存在的问题 ,论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性 ,并且总结出微型机械研究中关于微机械设计基础研究的范畴和特点 。