摘要：图像质量是影响光学显微系统微小尺寸测量精度的一个重要原因。介绍了测量系统的组成和工作原理 ,以及光学系统设计上保证成像质量的一些措施 ,探讨了提高图像质量和测量精度的方法。采用小波进行图像去噪 ,很好地去除了图像传输和存储过程中引入的高频噪声 ;为了进一步提高测量精度 ,采用同相累加平均的方法 ,滤除随机信号的影响。实验结果表明可满足超大规模集成电路线宽测量的要求 ,测量重复精度达到了 0 .0 1μm。

摘要：大型高功率激光驱动装置中,激光能量密度及系统运行速度主要受终端光学元件损伤增长的限制。为高效、精确地检测元件的损伤状态,提出了一种基于局部信噪比的自适应差异窗过滤算法。该算法通过设计一种作用在像素点上的窗函数,以关联邻域点的像素值强弱完成目标点或背景点的判断,从而完成种子图像的阈值化,最后通过对种子图像区域生长完成损伤分割。为验证算法的有效性,搭建了在线检测模拟平台以获取损伤样品图像,并使用该算法对图像进行处理。结果表明:对直径50μm以上的损伤点,算法的平均识别率在99%以上,达到了高功率激光驱动系统对微小损伤检测的精度要求。因其不需要依据经验设定种子图像的阈值,与现有局部信噪比算法相比具有更高的自动化程度。

摘要：详细描述了系统的构成。实验结果表明,所设计研制的光纤传感测量系统能很好地实现复杂轮廓表面形状的检测问题。测量系统的稳定性优于0.15％,高度分辨力优于0.4μm,定位测量的重复性达到±3μm,由于在传感头端部采用了自聚焦透镜技术,使该传感器有较高的横向分辨力,能有效地实现对微小复杂形状尺寸的扫描检测。将系统用于螺纹型面的检测,测量结果与用万能工具显微镜的检测结果比对,证明了本测量系统的实用性和方法的正确性。