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一种基于激光散射理论的超净光学表面检测系统: 收藏
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引用; 《科技创新与应用》2015年第22期5卷 7-8页; 作者：赵晓萌李秋实陈晓丹陈超英广东省科技基础条件平台中心广东广州510000 广州军区军械装备技术保障大队广东广州510500 暨南大学理工学院光电工程系广东广州510632; 文章针对超净光学表面污损较小、检测评价困难的问题,基于微尘对激光的散射理论,通过对低噪声光电前放设计、锁相放大电路设计等研制了超净光学表面微尘检测系统,实现了光学表面的高精度、高效率、低成本、无损检测,为光学表面损伤提供...; 文章针对超净光学表面污损较小、检测评价困难的问题,基于微尘对激光的散射理论,通过对低噪声光电前放设计、锁相放大电路设计等研制了超净光学表面微尘检测系统,实现了光学表面的高精度、高效率、低成本、无损检测,为光学表面损伤提供了检测和标定手段。实验表明,系统具有很好的稳定性、灵敏度和信噪比,能实现对直径5微米颗粒的精确测量。; 来源：详细信息评论

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