摘要：一、微机械的发展和定义 微机械是本世纪出现的一项高新技术,它的发展是建筑在下列三个支柱技术的基础上,即(1)以VLSI为代表的半导体微细加工技术;(2)微检测和控制技术;(3)微系统的设计方法论。

摘要：一、微机械的发展和定义 微机械是本世纪出现的一项高新技术,它的发展是建筑在下列三个支柱技术的基础上,即(1)以VLSI为代表的半导体微细加工技术;(2)微检测和控制技术;(3)微系统的设计方法论。由于人们预料到这项技术将导致未采产业领域发展的一场革命,许多发达国家和地区已把它列为“在经济繁荣和国防安全两方面都是至关重要的技术”,给予优先支持研究开发,在国际社会上掀起一股研究开发微机械技术的热潮。在最近的将来,微机械技术将应用于许多领域,其中医疗领域将成为最有希望首先应用的一个领域。

摘要：研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器,建立了其热挠曲理论模型。为提高探测器的红外吸收特性,应用了一种新型红外吸收层材料—碳纳米管,利用IC工艺和微机械加工技术设计制作了一种硅/铝/碳纳米管三层微机械悬臂梁红外探测器。该探测器基于硅和铝两种材料热膨胀系数的差异,存在双物质效应,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过梁根部的压敏电桥检测。实验探索出了在微机械悬臂梁上涂覆碳纳米管吸热层的工艺方法。实验研究了具有碳纳米管薄膜吸热层的三层微机械悬臂梁红外热探测器对红外辐射的响应规律,结果表明,涂覆碳纳米管吸热层使响应灵敏度提高近1倍。此种探测器样管的制作研究为开发新型的红外热探测器提供了新的可能。

摘要：分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应。在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据。若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验。

摘要：提出了一种基于石英晶体温度频率特性的石英音叉微谐振式温度传感器。通过理论分析的方法对传感器进行设计,并采用有限元仿真对传感器的结构参数进行优化。采用光刻和蚀刻微加工技术制造石英音叉谐振器,对石英音叉温度传感器样机的频率温度特性进行实验研究。实验结果表明:石英音叉温度传感器的标准谐振频率为36.545kHz,灵敏度为-1.9Hz/℃,在-20到100℃的温度范围内,其非线性误差小于0.18%,迟滞为0.02%,与理论研究相吻合。该传感器具有高精度、高灵敏度、低功耗和低成本的特点,为高性能温度测量提供较好的解决方案。

摘要：研究的动态被动阀微泵是一种基于微机械技术的振膜型无阀微泵。相对于有阀微泵而言 ,有更高的工作频率和可靠性 ,结构简单 ,加工制造的成本比较低 ,更容易满足实际应用中的各种要求。讨论了动态被动阀的工作机理 ,结合流体力学的基本理论与动态被动阀微泵的特点 ,采用有限单元方法以及相关工具软件ANSYS/FLOTRAN ,对整个动态被动阀微泵模型进行了计算、求解和模拟 ,并根据计算结果及加工工艺特点对其结构进行优化。用基于集成电路制造技术的微细加工工艺分别对动态被动阀微泵的各组成部分进行加工 。

摘要：简单综述了微机械技术的先进性，该技术包括表面和本体硅微机械、电沉积和键合技术。给出了许多微型系统设计、生产和应用的实例，并对以下微型系统分别进行了详细介绍：①小型化学分析系统；②空间研究用的微型仪器；③小型流体控制系统；④扫描探针系统；⑤静电和超声波微电机；⑥微型光－机械系统。

摘要：微机械技术的进步,使科学家们能够设计出像昆虫一样的机器人,它们装有各种传感器、光学装置及通信设备。随着进一步的微型化,科学家们预言,他们将会设计出肉眼几乎看不到的像螨虫一样大小的微机器人。这样的机器人能够进入间谍或侦察人员绝对无法进入的地方执行各种侦察与破坏任务,也能对飞机或卫星系统无法发现的地方(如茂密的树叶下)进行侦察。微机器人的优点是体积微小,轻巧灵活,造价低廉,不易损坏,尤其是伪装成各种昆虫一样,不易引起人们的注意,因此,与大型机器人系统相比,更受军方和情报人员的青睐。据美国桑迪亚国家实验室机器人中心负责人帕特里克·艾克透露,该实验室的研究人员计划在3年内建立一支美国军方与情报机构人员都能使用的神奇的昆虫式微型机器人队伍。目前实验室正积极进行研究开发工作。艾克说,如果只依靠实验室为该项目一年投入的600万美元研究经费,这支微机器人队伍要5年才能建立起来。