摘要：研究了平面度对微加速度开关触点形貌的影响,建立了触点吸附物理模型,根据微观连续介质理论推导出触点间包含斥力项的吸附力数学模型,经仿真得到吸附力随触点间隙的非线性变化规律,并得到最大吸附力,从而为微加速度开关的结构设计和系统分析提供理论基础。

摘要：本文阐述了在设计方面微型机械不同于传统机械的一些应该注意的关键问题，包括微尺寸效应问题、微摩擦问题、微机械寿命问题以及微能源供给问题。然后提出了微电机和微系统的设计理论和设计方法，最后讨论了虚拟现实ＶＲ技术在微型机械ＭＥＭＳ设计中的应用。

摘要：利用IntelliSuite软件对热膨胀驱动微阀进行结构分析设计,讨论了微加热器结构等因素对于微阀的影响。利用SU—8胶成型工艺制备了聚二甲基硅氧烷(PDMS)微阀所需要的模具。热膨胀驱动微阀的制备过程分为:薄膜微加热器的金属淀积、阀腔的制备、弹性薄膜的制备和流体通道的制备四部分,详细阐述了各部分的制备工艺流程和各层之间的改性键合工艺等。通过微加工工艺提高了微阀的性能。利用蠕动泵作为流体驱动源,对微阀的性能进行验证,当阀腔驱动电压达到9 V时,实现了微阀关闭。

摘要：微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给出了一种微型半球谐振陀螺的结构,研究了其工作原理以及检测方法,设计了一种数字式MEMS半球谐振陀螺仪的角速度积分工作模式方案及其FPGA实现方法,以完成目前MEMS半球谐振陀螺的角速度积分模式的控制与检测工作。

摘要：针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面"截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果,从而为微电机的结构设计提供了理论依据。

摘要：本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。

摘要：针对微电子机械系统(MEMS)陀螺随机噪声大及零偏重复性差的特点,对MEMS随机误差采用Allan方差分析其角度随机游走,以Allan方差辨识值和加权最小二乘法设计阵列陀螺信息融合处理算法,可有效降低角度随机游走,且在静态和动态条件下均能实时响应真实角速率。对MEMS陀螺常值漂移,结合惯性导航系统误差的可观测性设计两位置标定方案,完成常值漂移的系统级标定。仿真结果表明,文中所提方法可有效降低MEMS陀螺角度随机游走和陀螺常值漂移,显著提升MEMS惯性测量精度。

摘要：虚拟工艺是MEMS器件计算机辅助设计中对工艺过程仿真的部分 ,根据版图设计、层定义和工艺文件来生成器件模型 ,并进行三维模型显示 .本文在虚拟工艺库中引入了专家系统的技术 ,将已有的工艺知识分别描述成专家系统知识库中的规则 ,推理机部分与知识库分离 ,使系统有较好的可扩充性 .本文给出了一个剖面图的实例 ,证明其可行性 .

摘要：提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成。永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器。通电线圈用来实现器件的姿态转换。对设计的器件进行了电磁仿真分析,验证了器件的双稳态机制,分析表明:铁芯的存在对器件功能有决定性的影响。

摘要：针对传统开关滤波器组件体积庞大、重量重、调试复杂、集成度低的问题,设计并制作了一种小型化六通道毫米波硅基MEMS三维异构集成开关滤波器件。该器件以四层堆叠的高阻硅材料为衬底,工作频段覆盖18~40 GHz,内部集成了6款小型化空间堆叠的MEMS滤波器和2个单片开关,采用3D-TSV(硅通孔)异构集成工艺,实现了开关与滤波器组的晶圆级集成。为了优化毫米波频段集成滤波器性能,提出了MEMS混合交叉耦合多层堆叠SIW(基片集成波导)滤波器拓扑结构,且其工艺与整个开关滤波器件兼容,极大提升了滤波器的带外抑制。经测试,该开关滤波器件带内插损10 dB,带边1 GHz处带外抑制>40 dBc。该器件体积仅19.0 mm×16.5 mm×1.1 mm,比传统开关滤波器体积减小了99.7%。