摘要：从移相器的基本原理出发,分别介绍了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工技术制备而成的微波MEMS移相器的结构特点和工作原理。在此基础上,设计制备了CPW分布式加载线型MEMS移相器,并进行测试和分析,结果表明MEMS移相器较传统的移相器有微型化、低损耗、低成本、宽带等突出优点。

摘要：介绍了一种新型的连续可变式微机械单模光衰减器的设计与制作。该光衰减器采用电磁型微驱动器驱动一个铁镍合金衰减片 ,使其插入两根准直的单模光纤的间隙中 ,依靠精密地调节衰减片切入光路中的位置而实现对传输光功率的连续衰减。采用硅微细加工技术成功地制作出了这种光衰减器 ,并对微驱动器的性能进行了理论分析。测试结果表明 ,当传输的光波长为 15 5 0nm时 ,该衰减器的平均插入损耗为 2 5dB ,衰减范围为 2 5～ 4 5dB ,回波损耗为 4 0dB。

摘要：基于微电子机械系统制造技术的MEMS压电水听器和矢量水听器具有小型化、低功耗、低成本、易成阵、无源、噪音低等优点。对基于ZnO薄膜的MEMS水听器和矢量水听器进行了研究,测试结果表明,硅微压电水听器的灵敏度为-192 d B(ref.1 V/μPa),基本达到实用化的要求。MEMS压电矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 d B(ref.1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 d B,但还未达到实用化要求。为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度。

摘要：选用厚度为12.5μm的镍箔,采用激光微加工技术制备尺寸为2.8 mm×1.4 mm×0.0125 mm的微夹钳。其每一对级联元件由一系列致动单元组成,而每个致动单元由一个制约器和两个呈半圆形的动作梁构成,其驱动原理是电热效应。运用有限元分析(FEA)仿真了微夹钳的动态性能,对其动态性能进行了实验测试。测试结果表明,当电压为1.9 V时,最大位移量达到28.8μm,延迟时间小于200 ms。

摘要：对Si基梳齿式MEMS加速度计在冲击下进行了失效分析,验证了其主要失效模式,分析了其失效机理。通过机械冲击实验并采用扫描电镜(SEM)、X射线透视系统、扫描声学显微镜(SAM)观察及电性能测试等分析技术,研究了梳齿式MEMS加速度计在冲击载荷下的结构与封装失效,运用材料力学理论加以分析论证,发现悬臂梁断裂是较为主要的失效模式,且此类器件的封装失效主要表现为气密性失效和装配工艺失效,为MEMS器件的可靠性设计提供了重要依据。

摘要：为适应快速发展的蓝牙无线通信技术的要求 ,设计了新型层叠短接式微机械蓝牙天线 ,其 10dB带宽达到了 11%以上 ,辐射效率为 6 8% ,天线长度小于 1/ 7λ。首次将三维ADI FDTD (the alternating direction implicit finite differencetime domain)全波分析方法应用于该天线的建模和分析 ,数值模拟结果表明在计算域内网格尺寸相对于其它处网格尺寸或波长小得多的条件下 ,三维ADI FDTD时域全波分析方法能更有效地模拟微机械微带蓝牙天线 ,并能有效地减少CPU计算时间。

摘要：基于热边界层中断技术 ,设计了一种新型的带有交错结构的、当量直径为 1 5 5 3μm的微通道 ,以实现强化换热同时减小流动阻力的目的 .以去离子水作为工质 ,在入口温度、加热功率及质量通量 3个控制参数十分相近的工况条件下 ,在这种含有新型结构微通道的实验段 ,及含有常规结构微通道的实验段内 ,进行层流流动与换热的对比实验研究 .结果表明 ,采用新型结构能减小微通道进出口压差 ,降低摩擦常数 ,并且能较好地强化换热 ,降低微通道壁面温度 .

摘要：微电机是微机电系统 (MEMS)的核心 ,超声微电机是一个新的发展方向 ,这几年发展十分迅速 .首先对比分析超声微电机与电磁型微电机和静电微电机的区别 ,对国内外现有的几种超声微电机及其发展趋势进行了介绍和分析 ,指出目前超声微电机发展存在研究定位不明和关键技术尚未完全解决两大问题 ,并提出了今后超声微电机发展的研究定位和必须解决的一些关键技术 ,其应用重点是军民两用 ,特别是军工 .最后 ,指出市场牵引和工程实现是超声微电机取得突破的关键因素的同时 ,政府、产业和研究单位各方面的重视和形成合力则是推进我国超声微电机研究和产业化的关键 .

摘要：微混合器是生物微流体芯片的重要组成部分,其通道特征尺寸一般在几十到几百微米,采用常规的流体有限元法很难获得令人满意的分析效果。本文采用格子Boltzmann方法对微混合器的特性进行模拟分析。通过对两种斜槽式底面混沌微混合器通道的流场速度进行计算,模拟痕量样品粒子在载体流中的整个分散混合过程,研究了样品粒子混合的标准偏差与混合距离的关系,发现其符合高斯曲线的规律。上述仿真研究结果与相关文献的实验数据非常一致。表明格子Boltzmann方法可以作为微流体混合器及微流体芯片设计中的一种有效的分析工具。