摘要：针对硬脆材料切削系统中对加工精度的极高要求,设计了一套基于压电陶瓷为驱动、以柔性铰链为传动和支撑的高精度微调平台。分析了该机构的调平原理,采用三点调平法对所设计的平台进行分析和处理,并进行了运动轨迹讨论。采用ABAQUS软件对平台进行有限元仿真,并进行调平试验验证,将仿真、试验与理论分析结果进行对比,证明了调平原理和方法的可行性。

摘要：为了实现低成本的微纳米级微位移调整,文章基于柔性铰链直线位移与寄生位移的关系,设计了一种由测微头驱动的单自由度微位移调整平台。介绍了该微调平台的结构组成及工作原理,建立了微调平台缩小倍数即输入-输出关系的理论模型。通过关键尺寸赋值,得到一种结构紧凑的缩小倍数为47的手动微调平台,通过测微头输入步长为10μm的位移,最小输出位移为213 nm,输入范围为0~600μm,输出范围为0~13μm。采用Ansys Workbench仿真软件对微调平台的刚度、应力及输入-输出关系进行有限元验证,验证了该设计方案的可行性。