摘要：综合使用通用电路模拟软件 PSPICE和有限元分析软件 A NSYS对一种硅基微麦克风进行了系统模拟 .得到了各项参数的优化值 ,优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应 .在此基础上 ,提出了一种 Top- down的优化设计方式以准确预测系统的行为 。

摘要：在现有 Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出并设计了可集成在同一芯片上的基于ＰＺＴ铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构，对其灵敏度和声输出进行了理论计算。比较了基于 ＰＺＴ和 ＺｎＯ两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异。

摘要：在现有的硅基Pb（Zr，Ti）O3（PZT）铁电薄膜的制备工艺基础上，提出了一种以PZT悬臂式振膜为核心的集成微麦克风和扬声器结构，对其进行了优化设计。对微麦克风和扬声器的灵敏度和声输出进行了理论计算。并比较了基于PZT和ZnO两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异。

摘要：设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风。这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影响微麦克风机电性能的多种因素,给出了优化的器件结构和工艺流程。

摘要：0020437铁电-硅集成微麦克风和扬声器的理论设计[刊]/任天令//压电与声光.—2000,22（4）.—234～236（L）在现有 Pb（Zr,Ti）O3（PZT）铁电薄膜的制备工艺基础上,提出并设计了可集成在同一芯片上的基于PZT 铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构,对其灵敏度和声输出进行了理论计算。比较了基于 PZT和 ZnO 两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异。