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检索条件"主题词=扩散泵"
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扩散泵设计中的几个具体问题
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《真空》1992年 第1期29卷 20-25页
作者:陈益林 陈奇合肥工业大学合肥市230009 
本文根据气体动力学的二元理论论述了扩散泵喷嘴角度与喷嘴扩张车的关系,认为喷嘴角度在一定范围内变化时,喷嘴的扩张率也要作相应地改变,方能取得良好的抽气性能。与此同时,各级喷嘴之间的级间距离不该用喷帽内壁面的角度来计算,...
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扩散泵加热恒功率控制仪
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《真空》1999年 第5期36卷 26-28页
作者:于炳琪东南大学电子工程系 
用单片机控制双向可控硅的恒功率控制仪用于控制扩散泵加热,保证了扩散泵在最佳加热功率条件下长时间稳定工作。该控制仪可实现多路控制,具有效率高、体积小、重量轻、成本低的特点。文中介绍了该仪器的工作原理、设计方案和主程序流...
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扩散泵返油率在口平面的分布
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《真空》1995年 第2期32卷 5-8页
作者:龚建华 董兰生合肥工业大学 
扩散泵的返油限制了它的使用范围。用挡油障板阻挡油分子的同时,又将减小的抽速,这是一个矛盾。本文给出一种测量扩散泵返油率在口平面分布的方法。对返油率高的部分加以有效的阻挡,而低的部分留作抽气通导,这对设计低返油、大...
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流检漏仪用扩散泵的设计
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《真空》1991年 第4期28卷 32-35,61页
作者:徐成海东北工学院沈阳110006 
逆流检漏仪用扩散泵属于特殊用途的扩散泵。它要求扩散泵对空气的压缩比大,对氦气的最大压缩比小。为满足这样的要求,设计了 K—65F风冷金属油扩散泵。本文介绍了 K—65F的特殊结构,论述了采用这种结构的理论依据。并运用真...
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影响KT-150型扩散泵抽速因素的研究
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《真空》1993年 第2期30卷 12-15页
作者:陈奇 陈益林合肥工业大学合肥市230009 
本文运用气体动力学的理论,重点从结构上分析了影响KT-150型扩散泵的抽速因素。对设计其他类型的扩散泵具有一定的参考作用。
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扩散泵扩散喷射技术
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《真空》2014年 第6期51卷 15-20页
作者:王壮 苏玉萍 张明达 李智慧沈阳真空技术研究所辽宁沈阳110042 
本文介绍和给出了扩散泵以及扩散喷射的主要尺寸、参数的设计与计算,并对抽气速率、蒸发面积及喷咀设置与返流率等问题进行探讨。最后对两种产品实例进行分析和计算,为产品设计、生产和改进提供参考和依据。
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简化扩散泵芯结构的探讨
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《微细加工技术》1995年 第2期 60-66页
作者:龚汨清 尹秋琴 林曼印长沙电子部第48研究所 
本文介绍生产显像管排气过程中扩散泵的使用情况。在分析该情况下扩散泵的使用周期和扩散泵油分馏作用的基础上,认为此种扩散泵芯设计可以不考虑分馏作用,从而将芯结构简化。并报导新设计的芯结构及主要实验结果。
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采用渐开线仿形模板旋压扩散泵下壳体
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《制造技术与机床》1995年 第10期 16-18页
作者:王振生 邹成桥 李飞 崔玉珍北京有色金属研究总院中国科学院科学仪器厂 
本文阐述了采用渐开线仿形模板旋压KB—150型扩散泵下壳体的工艺。讨论了工艺流程,渐开线仿形模板的设计和摆动中心的确定。根据实验提出合理的工艺参数和对该工艺的评价。
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小型自冷式油扩散泵
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《物理实验》1993年 第5期13卷 222-222页
作者:张淑贞 陈在群 蔡敏中国科技大学基础物理中心 
在真空实验中,要想使系统获得高真空(10^(-2)Pa以下的气压),除用机械对系统进行排气外还必须加高真空,其中最常用的就是扩散泵。一般商品扩散泵都是多级,是由几个单级串联而成。的外形有立式、卧式;体材料有玻璃的、金属的...
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电子显微镜自动停机系统的设计
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《湖南师范大学自然科学学报》2002年 第4期25卷 42-44页
作者:彭沛夫 彭理莉 张桂芳湖南师范大学物理与信息学院电子信息系中国长沙410081 中南大学电子信息系中国长沙410083 中南大学数软系中国长沙410012 
本系统设计采用CMOS集成电路CD4060为中心的分频与振荡器及延时控制系统,解决了扫描电子显微镜延时自动停机及加热后冷却问题.极大地减轻使用者的不便和延长电子显微镜真空系统的寿命.
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