摘要：采用“一桥两测”技术，以微机为核心设计了扩散硅压力传感器的自动测试补偿系统。

摘要：本文比较详细地探讨了现今应用很广的几种扩散硅压力传感器的结构及封装工艺,提出了全固态隔离膜片结构的基本封装形式,并对传感器结构设计和封装时必须注意的问题和基本参数进行了探讨。

摘要：扩散硅力敏传感器ＣＡＤ 的技术包括３ 大部分：传感器平面工艺ＣＡＤ；传感器芯片结构ＣＡＤ；传感器结构ＣＡＤ．平面工艺ＣＡＤ 是根据半导体技术的理论，将氧化、注入、退火、再扩、腐蚀、淀积等工艺的物理模型用数学语言建立起数学模型，再利用计算机进行数值计算，使传感器芯片平面工艺流程的实验过程移植到计算机上进行，通过对工艺参数仿真计算，实现了传感器平面工艺的ＣＡＤ技术。制作传感器扩散电阻需要多个平面工艺步骤，每个工艺步骤都需要确定几个工艺参数，而任意一个工艺参数的变化都将对器件的最终特性有影响。因此在设计传感器时，平面工艺的ＣＡＤ技术将起到重要作用。扩散硅力敏传感器平面工艺ＣＡＤ是基于ＩＣＥＣＲＥＭ 软件进行的。

摘要：本文探讨了工业用扩散硅压力传感元件可靠性的问题,介绍了其应用环境特点、失效模式以及引起失效的种种因素,并从设计和工艺角度出发,给出了防止失效的办法及保证可靠性的措施。

摘要：介绍了基于HART协议智能扩散硅压力变送器的硬件和软件设计 。

摘要：以系统的可靠性为目标对扩散硅液位变送器测量系统进行综合设计和技术改进.通过对系统的软、硬件功能的合理分配和对关键技术难点解决方案的选择,以及兼容设计、降额设计、抗干扰设计等可靠性保障技术的应用提高了扩散硅液位变送器测量系统的测量精度和可靠性指标.这种方法成本低,仪器安装方便.同时,本文也为其他小型智能化仪表的可靠性保障设计提供了一种思路和方法.

摘要：对扩散硅全桥应变计的设计、工艺进行了全面的分析和介绍。提出了一套适合批量生产的工艺技术。在研制中对工艺中的关键技术进行了特殊的处理。

摘要：扩散硅压力传感器的漂移补偿模型的建立上海大学自动化学院４９号信箱（上海：２０００７２）郎文鹏，赵维琴，闻国富，黄环轩引言由于传感器的精确度及可靠性对整个仪表系统的精度产生致命的影响，因而要设计高精度仪表，必须选择较为可靠及静态、动态性能均能满足要求的...

摘要：本文介绍汽车用扩散硅压力传感器的工作原理，根据惠斯通电桥原理，进行其传感器接口电路设计、系统的软件设计，分析压力传感器的输出随温度变化的原因，并通过实验验证其效果。

摘要：针对有线矿压监测系统存在的缺陷,提出了一种低功耗矿井无线压力传感器设计方法与实现电路。该方法从低功耗的视角,对传感器节点的硬件电路、软件流程和系统时钟进行了优化设计研究,硬件电路以MSP430为核心,首先通过对各功能子模块配置数字开关及中断调度方法,有效增加了核心电路的休眠时间以节省能源消耗;其次,在保证性能的前提下,调配主系统时钟的时钟源及降低时钟频率,减小了CPU运行时的功耗;最后,给出了扩散硅压力传感器的输入输出关系及不确定度的形式化表达式。传感器测压范围是0~70 MPa,测试结果表明,节点测压最大误差为0.1MPa。该数字传感器具有体积小、抗干扰性强、易维护、安全性高等特点。