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动态磁场矩形平面磁控靶开发
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《真空》2023年 第5期60卷 47-50页
作者:刘文丽 刘旭 尹翔北京北方华创真空技术有限公司北京100015 
针对矩形磁控溅射靶使用过程中靶材利用率较低的问题,北京北方华创真空技术有限公司设计生产了磁铁组件可水平垂直移动的动态磁场矩形平面磁控靶。设备通过电机带动磁铁组件沿靶材宽度方向扫描,使刻蚀跑道在靶面宽度方向拓展,增大靶面...
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用于射频段电子自旋共振实验的磁场装置
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《沈阳大学学报(自然科学版)》2015年 第2期27卷 170-172页
作者:汪柏年 郭枳讯 王建华沈阳大学师范学院辽宁沈阳110044 
通过对线圈的设计、制作、供电和对应磁场的检测等,研制了用于射频段电子自旋共振实验的磁场装置.用制作完成的该磁场装置与共振实验仪匹配,完成了射频段ESR信号的观察.
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