摘要：分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极 .理论分析和实验结果表明 ,倾斜下电极的 pull-in电压几乎比平面下电极的 pull- in电压降低一半 .

摘要：针对扭臂模锻成形过程,采用三维刚塑性有限元法进行了数值模拟,分析了金属的塑性变形行为,对可能产生的缺陷进行预测,给出了等效应力、等效应变的分布情况,从而为工艺制订和模具设计提供理论依据。

摘要：给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构 ,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构 ,给出了静电驱动等方面的分析结果。

摘要：主要介绍了深圳5号线抗侧滚扭力杆组装、拆卸工装的结构组成,以及组装抗侧滚扭力杆组件和拆卸抗侧滚扭力杆组件的工装使用方法和工作原理。该工装目前在现场使用,为抗侧滚扭力杆组件安装提供了极大的方便,确保了抗侧滚扭力杆组件安装的技术和质量要求。

摘要：对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计,考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大,会对光开关的性能产生一定影响,提出了一种扭臂和微反射镜相平行的光开关悬臂驱动结构,该种结构能够实现大面积微反射制作的同时,而不提高光开关的驱动电压,具有结构紧凑,便于集成的优点。采用该悬臂驱动结构,成功制作了8×8光开关阵列,单面微反射镜面积达到180μm×600μm,在65V的驱动电压下,能够实现微反射镜180μm的大位移。

摘要：采用气缸推动扭臂带动制动盘转动的方式,基于数据采集与控制系统设计了制动器静扭强度检测系统,实现制动器静扭强度的检测。使用电器比例阀与气液增压器实现气压至液压的转换,精确控制制动器的制动压力;利用气压管路系统实现气缸推动扭臂,精密调压阀控制气缸上升速度从而控制扭臂带动制动盘转动的转速。试验结果表明,在制动力为20MPa时制动器的静扭强度值为2330N·m。综合检测数据与系统硬件参数,对检测系统进行不确定度分析,静扭强度的不确定度为7.76N·m,满足检测要求。