摘要：硅外延使用包封SiC的石墨基座,基座的尺寸及基座上承载槽的形貌和硅外延片的滑移位错直接相关。为使高温下Si片内产生的应力不超过滑移位错产生的临界应力,必须使Si片处于均匀的温区。实际使用表明,基座边缘热辐射及热量被气流带走使基座两个边缘温度急剧下降,必须对边缘温区进行补偿及装片时避开基座边缘一定距离;高温时Si片通过基座获得热量并发生形变,基座上承载槽的形貌设计必须兼顾厚度匀匀性及Si片高温时形变的方向。研究表明,金属沾污尤其是重金属催化作用及过腐蚀是影响基座寿命的关键因素。

摘要：本文针对传统相似模拟实验架加载装置,采用在模拟岩层体上方堆叠铁块的方式模拟上覆岩层重量,堆叠过多劳动强度大、易产生滑落等不安全因素,设计一种相似模拟实验架加载装置,包括设置在相似模拟实验架两侧的支撑柱,4个支撑柱上设置有承载槽,承载槽内设置有水罐,水罐底部中央设置有内螺纹的传力钢管。本加载方案是通过对水罐注水,利用水罐重量对平面相似模拟实验架进行加载,较为显著地提高了实验质量和效率。