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扩散泵返油率在泵口平面的分布
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《真空》1995年 第2期32卷 5-8页
作者：龚建华 董兰生合肥工业大学 
扩散泵的返油限制了它的使用范围。用挡油障板阻挡油分子的同时，又将减小泵的抽速，这是一个矛盾。本文给出一种测量扩散泵返油率在泵口平面分布的方法。对返油率高的部分加以有效的阻挡，而低的部分留作抽气通导，这对设计低返油、大...
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