摘要：介绍了探针测试的现状,基于探针设备的硬件结构,探索设计一种“四芯”测试算法,达到提高测试效率的目标。实验结果表明了“四芯”测试算法的可行性及有效性。

摘要：晶圆测试是芯片制造产业中十分重要的环节,是芯片良品率最主要的测试方法,探针台作为晶圆测试的主要设备,用来检测晶圆质量的好坏,在芯片制造过程中有着重要的作用。晶圆片尺寸的增大和晶圆密度的提高会导致探针台晶圆测试时间的增加,需要运行速度更快的机械装置和更加精确的机器视觉识别系统来执行测试工作。高速运行的机械装置给本就复杂的晶圆测试体系中额外增加了振源,以及其他设备引起的环境振动,使得晶圆测试不稳定性增加。本文采用有限单元仿真软件对探针台结构进行数学建模,通过施加探针台制造和运行过程中典型的动载荷对探针台中的典型部件进行动力学分析,得到了探针台各部件结构的固有频率和模态振型,进而研究影响探针台振动的主要物理因素,通过分析这些物理因素来优化探针台各部件的质量分布、刚度设计和阻尼设计。本文的研究可望为提升晶圆测试时受振动激励下的控制精度和稳定性提供数据支撑,为研发高速度、高精度、高自动化、高可靠性的全自动晶圆探针测试台提供理论支持和方法借鉴。

摘要：为解决自动和半自动探针台的载片台水平方向位移发生偏差时,导致探针压点位置不准,从而使测试结果不可靠,甚至伤及芯片和探针的问题。根据实际工艺和溯源机构的标准器具特性,设计了标准尺的图形,在苏打玻璃上电镀5μm宽的金线条,制作成152.4mm×20mm的长方形标准尺,其测量范围为(0~150)mm。对标准尺进行了定标,定标不确定度为1.0μm。在测量范围内,进行了试验分析,评定了测量不确定度。结果表明:标准尺测量的水平位移偏差小于4μm,满足测试需求。

摘要：探针台因其检测对象易受电磁噪声干扰,因此如何有效抑制探针台外部电磁干扰非常重要。以探针台的屏蔽箱体作为研究对象,利用基于有限元方法的电磁仿真软件ANSYS HFSS,建立了平面波辐射条件下的探针台屏蔽箱模型,分析了缝隙宽度、箱体材料、孔缝形状对屏蔽效能的影响。仿真结果表明:孔缝宽度对屏蔽箱体的屏蔽效能有很大影响,电场极化方向与孔缝长边垂直时,屏蔽箱体的屏蔽效能大幅下降,典型金属材料对屏蔽效能有影响,但相差不是很大,屏蔽箱屏蔽效能与垂直于电场极化方向的孔洞线性尺寸成反比。仿真结果有利于探针台屏蔽箱的结构设计,提高箱体的电磁屏蔽效能。

摘要：介绍了一种便携式探针台,其结构小巧,功能实用,成本较低,可以满足基本的试验需求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构设计,使得探针台部分能从整个探针台系统中独立出来,可以应用于辐照试验中。固定在探针台上的芯片可以与探针台一起放置于空间任意位置,方便将芯片对准辐照源中心。该探针台也可放置在高低温箱中,用于芯片的三温测试。加上显微镜固定采用多角度云台支架设计,支持全方位观察,可以使得观察更加立体直观。探针卡采用多探针结构,可实现多路测试,并且探卡及其信号连接线采用了低漏电及EMI设计,测试精度可以达到0.1 n A以下,配合接地良好的铝制屏蔽盒,增加了抗干扰能力,其测试数据更加精确。

摘要：为了进一步研究贴片元器件性能,介绍了一种基于探针台的测量系统。该系统包括上位机界面控制和下位机测量系统控制。上位机界面是由VC++设计完成;下位机是以MSP430F449单片机为核心,并在外围加以双极性A/D转换芯片AD574设计完成。最后,通过RS232串口使上位机和下位机完成了通信。测试结果表明,该探针台系统可以方便、精确地给出测量结果。

摘要：研究电感特性随磁场变化的响应机制具有很重要的应用价值及研究意义。该文主要基于原有矢量网络分析仪和探针台,对薄膜电感测试系统增加磁场测试的功能,并编写自动化测试软件,从而测试在不同磁场下制备在YIG片子上的薄膜电感的高频性能随磁场的响应特性。

摘要：全自动探针台UF200 UF200是针对大规模集成电路及超大规模集成电路设计制造的全自动探针台.可同时承受2000个针点,对64的DIE进行测试,并可安装直径320mm的探针卡。特点: 高精度:X。