限定检索结果

检索条件"主题词=曝光装置"
3 条 记 录,以下是1-10 订阅
视图:
排序:
用折反射步进重复曝光装置进行亚微米作图
收藏 引用
《电子工业专用设备》1999年 第2期28卷 54-59页
作者:Elli.,DJ 谢中生 
介绍在光刻中使用248nm和193nm波长的一种新颖作图装置。设计该装置以抗蚀剂材料为其特征,应用在先进的存储器(64Mb、256Mb)和高密度双极IC生产中。随着应用于图形中DUV灵敏的光致抗蚀剂的工艺情况,将描述...
来源:详细信息评论
床旁摄影自动延时曝光装置的设计与制作
收藏 引用
《中国现代医药杂志》2017年 第6期19卷 73-74页
作者:林建华 羽春荣 徐国荣 陈德基广州医科大学附属第二医院放射科广东广州510260 广州医科大学附属第二医院设备科广东广州510260 
床旁摄影是放射科日常摄影工作的一部分,其可移动性极大方便了危重和卧床等患者的X线摄影检查[1],从早期的传统暗盒X线摄影到CR,及现在普遍使用的DR,使床旁摄影从工作流程优化、图像质量上都发生了质的飞跃。然而伴随而来的是工作量不...
来源:详细信息评论
捍卫独创布图设计的专有权
收藏 引用
《软件和信息服务》2015年 第6期 86-页
作者:王舜林北京汇金科技有限责任公司 
捍卫集成电路独创布图设计的专有权,保护所有者权益,集成电路设计业才能健康发展。"钜锐案"的判决是我国集成电路知识产权保护的一个历史性的重大事件,对于集成电路布图设计侵权案的统一裁判尺度和法律适用标准以及促进集成...
来源:详细信息评论
聚类工具 回到顶部