摘要：分辨率和最大输出位移是微定位系统互相矛盾的两个关键性能指标,传统以柔度为目标的结构优化设计不能满足系统的这些性能要求。因此,作者建立了综合考虑两者的优化设计模型,并针对该模型含非线性矛盾目标的特点,提出了相应的求解方法。首先,选取对系统性能影响较大的参数作为优化变量,根据各变量间的相互制约关系及设计要求建立约束条件;然后,建立只含优化变量的最大输出位移和分辨率的参数表达式,分别作为目标函数和约束条件函数。最后,采用综合分支定界法、内点法和外点法的合成算法用于求解该类优化模型。该合成算法以应用内点法获得的优化模型的任一可行解为搜索起点,并根据外点法的求解结果,应用分支定界法逐渐缩小最优解的搜索范围,最终求得最优解。将该方法应用于一种微夹持系统,对求解结果分析可得,在分辨率要求的不同取值范围内,分辨率要求对最大输出位移的约束作用的强度是不同的。该综合方法直接考虑系统矛盾目标变量,进行微定位系统参数优化,实现了全局优化。