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柔性阵列式声表面波微力传感器的研究
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《化工自动化及仪表》2017年 第5期44卷 466-471,477页
作者:王俊 李媛媛上海工程技术大学电子电气工程学院 
主要研究柔性阵列式声表面波微力传感器,进行两个金属或者非金属物体以及其间若干局部弹性介质接触面(厚度在1~5mm)间接触微压力(0.0~0.2N)的检测,根据基片结构所受应力变化使用有限元分析法进行受力分析,同时设计柔性阵列式传感器基片...
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