摘要：流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工,然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.5885%FS;水流测试灵敏度为41.5241mV/(ms^(-1))~2,测试基本精度为0.9323%FS。结果表明,所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度,从而能完成流量信号的检测。

摘要：对单层球形网壳梁膜结构进行分析,根据网壳的失效形式确定网壳结构的强度和局部稳定性设计准则,利用有限元分析软件对风场和结构场流固耦合分析,并通过优化设计得到杆件最优截面尺寸.通过对原理样机网壳结构进行多点加载试验,得到最大位移点随载荷变化曲线,并把试验结果与仿真结果进行对比分析,对仿真计算模型进行验证,为同类型单层球形网壳的设计与分析提供理论基础.

摘要：采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5～10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24),结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。

摘要：在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计 ,膜区厚度为 1 0 μm ,制造出的微压传感器灵敏度为 5 0mV/ 3kPa/ 1mA ,端点法非线性为 0 .5 %。

摘要：在A0 3号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构 ,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上 ,从而避免了被测流体的瞬时高温冲击 ( 2 0 0 0℃ )。给出了传感器结构设计理论和设计结果及SOI芯片固态压阻力敏感元件的制作方法。对设计制作的耐高温微型压力传感器进行了高温实验。测试结果表明 ,这种新型结构的耐高温微型压力传感器具有较好的静态特性。

摘要：硅压力传感器发展的一个重要趋势,是向高灵敏度的微压传感器发展。1993年我们率先采用微机械的梁膜结构制得PT-24量程lkpa微压传感器。但在进一步提高灵敏度的研究过程中,遇到如下几个问题:(1)非线性随着灵敏度提高变差;(2)灵敏度提高,稳定性变差;(3)过载能力不够;(4)静电封接时背岛与玻璃基片相接。本文针对上述问题进行了研究,在PT-24量程1kpa微压传感器的版图和工艺基础上进行改进和提高,成功地设计并制作出PT-28量程500pa压阻式扩散硅微压传感器。