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基于激光剪切干涉的长导轨直线度测量系统设计: 收藏
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引用; 《传感器与微系统》2009年第12期28卷 77-79页; 作者：王文丹赵美蓉付鲁华刘启海林玉池天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072; 针对长导轨直线度传统测量方法中存在的问题,研制了一种基于激光楔形平板剪切干涉测量的便携式激光干涉准直系统。根据剪切干涉测量原理,设计了光学元件的关键参数。在ARM9硬件开发平台下使用嵌入式操作系统WINCE 5.0,通过Embedded C++...; 针对长导轨直线度传统测量方法中存在的问题,研制了一种基于激光楔形平板剪切干涉测量的便携式激光干涉准直系统。根据剪切干涉测量原理,设计了光学元件的关键参数。在ARM9硬件开发平台下使用嵌入式操作系统WINCE 5.0,通过Embedded C++实现了导轨直线度误差值等的相关算法。系统实时计算相邻信号之间的相位差,简化了激光光束准直度调校测量设备的装调工作;根据信号幅值大小控制信号增益,实现精确检测大尺寸导轨直线度误差的功能。整个系统测量精度高,集成度高,便携性强,可应用于各种工业环境与室外测量。; 来源：详细信息评论

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