摘要：作者将遗传算法应用于毫米波微电子机械系统 (MEMS)相移器的设计和优化 ,根据毫米波微机械系统的特点 ,讨论了遗传算法的一些改进 ,提出一种有效的具有变种群规模、并与爬山法相结合的混合遗传算法 (VPSG_GM )。通过变种群规模混合遗传算法的优化设计 ,一个拥有32个 30微米宽的跨桥、长 30 0微米 (总长为 10 .5 6毫米 )的MEMS相移器在 4 0GHz时可以达到 12 4°/dB的相移 ,在 6 0GHz时相移为 148°/dB。

摘要：MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。