摘要：该流量测试仪主要由轻巧型的孔板式微流量气体流量探头及以８０９８单片机为核心构成的流量线性化积算仪组成。探头的设计技巧先进，采用超小型差压传感器精确地测定出作为节流装置的孔板前后压差，通过调理电路输出电流进行远距离无失真地传送到积算仪进行数据采集与处理。

摘要：本文介绍恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了误差分析与实验结果．流量测量范围为３．４９～１．９７×１０５Ｐａ１／ｓ，不确定度≤２．２５％。该微流量计已用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。

摘要：介绍了恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了实验结果，流量测量范围为３．４９～１．９７×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２．２５％。该微流量计己用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。

摘要：针对卷烟吸阻测量过程中临界流量孔件(CFO器件)生成的高速微小气体流量产生的压差受到环境温湿度影响,难以准确测量的问题,设计了由进样模块、标准包覆模块、电路系统、气路系统等组成的卷烟吸阻检测装置,用于精密检测CFO器件生成的高速微小气体流量产生的压差。根据卷烟吸阻测量标准的流量要求(17.5±0.3)mL/s,采用CFO器件产生标准微小气体流量17.5 mL/s作用于烟蒂端。基于STM32的核心控制板,采用压差传感器对测量管路压降精密检测,使用温度传感器和湿度传感器对环境温湿度进行实时监测。通过标准棒修正由差压传感器本身带来的误差以及试验环境中温湿度波动带来的误差。结果表明,卷烟吸阻检测装置实现了测量过程中管路压降的精密测量和温湿度影响的修正,测量精度达5 Pa,比现有测量标准要求提高了1倍。

摘要：为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题,将超灵敏度检漏技术集成在高抽速自动排气系统中。设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成。排气系统设计为八工位结构,空载时极限真空度达到超高真空范围,烘箱可进行高温加热,该系统采用程序控制,具有自动采集、存储、分析和传输功能,实现排气工艺全过程自动化。标准气体流量系统可提供5×10^(-7)~5×10^(-16)Pa·m^(3)/s范围的标准气体流量,集成的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-16)Pa·m^(3)/s,整套装置对行波管漏率检测结果的合成标准不确定度小于15%。