摘要：基于热传递原理,设计了一种大量程气体流量传感器。采用FLUENT进行结构的仿真,结合权重法确定传感器的最优结构模型。研究了传感元件的温度特性,确定了传感器的工作状态。设计了传感电路,对传感器进行了自动温度补偿。测量中采用两种不同的测量原理,使传感器能够检测微小流量和中、大流量,提高了传感器的测量范围。实验结果表明该传感器测量流量量程为0.14m^3/h^130m^3/h,测量误差优于1.5%。

摘要：基于热温差原理,利用MEMS技术加工制备出高灵敏度微型气体流量传感器。该流量传感器采用热敏电阻器悬空结构,其热隔离性能较好,并利用温度系数大的VO2制备热敏电阻器;同时,利用机械性能和密封性能好的SU—8胶制备气流沟道,工艺简单,稳定性好,且成本较低,适合批量生产。实验表明:当传感器处于适当偏压下时,在0～30 mL/min的流速范围内响应速度快,灵敏度高,而且具有良好的线性度,适合生化检测、医疗等领域的应用。

摘要：为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析和Ansys有限元数值仿真,验证了简易标准流量发生器的可行性。传感器信号读出与数据采集电路基于内建多路A/D转换器的单片机实现,具有传感器加热电阻器的恒温控制、流量信号的数字检测和显示的功能。采用该简易流量测试装置对自行研制的MEMS气体流量传感器进行了流量测试与标定,获得了待测器件的标定参数、传感器流量测量的绝对误差和相对误差。

摘要：使用MEMS技术研制出一种高灵敏度热温差式流量传感器.器件采用热隔离性能良好的衬底挖空结构,且热敏电阻器与热源距离可调,保证了系统的灵敏度和响应速度.同时热敏电阻器、加热电阻器与电桥电阻器集成在传感器片内,提高了系统的稳定性.实验表明：合适的电阻器间距可以获得较高的灵敏度,而在0～20 mL/min的量程范围内系统线性度较好,因此,在生化检测、医疗等领域具有良好的推广前景.

摘要：利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场。并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响。将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ,发现二者基本吻合。利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度 ,另外也为此类传感器的设计和验证提供了一个非常简单而有效的方法和依据。

摘要：针对传统瓦斯抽放监测系统由于监测参数多而存在安装传感器多、铺设电缆多、安装维护不便等问题,设计了一种新型矿用多参数气体流量传感器。该传感器可测量管径为80～1 000mm的管道内流速为0.3～30m/s的气体流量,只需在管道上取一个安装孔,传感器接一根四芯监控电缆就可通过RS485将管道流量、温度和压力信号上传到传输分站。工业性试验结果表明,该传感器量程比大,稳定性好,减少了瓦斯抽放监测系统前期调研、施工和维护等工作量,具有较强的实用性。

摘要：本文通过理论分析对金属丝在强迫热交换下 ,建立测量气体流量数学模型 ;并设计了温度补偿电路 ,通过实验数据对其性能作出了评价 ,使恒温热线式气体流量传感器 ,具有灵敏度高、响应速度快、测量范围宽等特点。本文测量方法可广泛应用于各种可燃气体流量的测量。

摘要：概述一种新型大管径高温含尘气体流量传感器，采用电离气体离子示踪技术测量气体流量，具有本质抗干扰、抗污染能力。针对管径形状及流场速度分布特征而设计的一体化结构，对流场影响小，接收电极采用弧形，耐高温材料制造，适于高温测量。利用上述方法制成的传感器可测量局域流场，并可根据大管径流场分布计算整体流场速度，经实验室测量，精度为３％。

摘要：基于热传递原理,设计了一种大量程插入式气体流量传感器。分析确定了传感器的最优结构模型和传感电路,扩大了传感器的测量范围。通过传感元件温度特性的研究,实现了传感器的自动温度补偿。实验结果表明,传感器测量精度高,量程宽,适用于大量程气体流量测量。

摘要：在建筑工程领域,暖通空调系统的能源消耗占据了显著部分,尤其在公共和大型建筑物中,由于其广泛的使用及庞大的建筑面积,导致能源消耗尤为显著。为了提升暖通空调系统的运行效率并进行精确控制,提出构建一个变风量制热能耗的智能监测平台。该平台主要由三部分组成:传感器模块、控制器模块以及异常数据管理模块。传感器模块包括压力、温度和气体流量三种传感器,它们共同负责数据的采集。控制器模块则由电源电路、预驱动电路和最小系统应用电路等部分构建,用于实现平台的全面监控,并基于传感器数据综合分析以获取监控结果。异常数据处理模块专注于检测和清理监控数据中的异常能耗信息。经过性能测试,该平台在每天6小时的运行中,制热能耗监测数据的平均绝对误差低于1.0kWh,最高不超过1.12kWh;平均相对误差小于0.2%,而最大的相对误差为0.189%。这些结果显示,整个监控系统的误差极小,具有高度的准确性。