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检索条件"主题词=气态化学污染物"
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半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析
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《暖通空调》2021年 第3期51卷 46-50页
作者：职远 张丁超 刘俊杰 夏群艳天津大学300072 天津大学环境科学与工程学院300072 深圳市华净科技有限公司 
以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空态运行的全过程测试,分析了安装化学过滤器前后、洁净室运行前室内气态化学污染状况的变化情况及环境控...
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