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检索条件"主题词=气浮解耦机构"
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面向IC封装的两自由度精密气浮定位平台设计
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《天津大学学报》2007年 第11期40卷 1351-1356页
作者：张大卫 张胜泉 赵兴玉 王福军天津大学机械工程学院天津300072 
为提高引线键合机定位机构的运动速度和定位精度,提出了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台.该平台采用了新型的气浮解耦机构,使音圈电机置于固定支座上,有效地减小了定位平台的运动惯量.阐述了该气浮平台的解耦原理,探讨...
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