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检索条件"主题词=氧氮化硅"
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低介电氧氮化硅陶瓷的研制
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《现代技术陶瓷》2009年 第1期30卷 8-11页
作者：廖荣 马桂红 于志永 王重海 刘建 韦中华 袁维军山东工业陶瓷研究设计院淄博255031 济南大学材料学院济南250022 淄博市新材料研究所淄博255040 
以氮化硅为主体,外加二氧化硅,研制低密度、高强、低介电的氧氮化硅陶瓷材料。通过分析材料烧结体的XRD物相图、材料的各项性能、材料的显微结构,得出二氧化硅含量对材料性能的影响规律,从而确定了材料最佳配方。
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