摘要：提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补偿透镜的非球面度补偿范围,证明用简单且易于制造的部分补偿透镜补偿不同相对孔径和非球面度的非球面.测量精度可达到λ/10.

摘要：大口径高次非球面的加工检测是光学制造的难题之一。结合一个有效通光口径为900mm、顶点曲率半径为2580mm的高次非球面凹反射镜,推导出高次非球面的球差系数。基于三级像差理论,对高次非球面的法线像差进行补偿,求解了补偿系统的初始结构。设计了基于球面波和平面波的补偿系统,并对高次非球面凹反射镜进行研磨处理,经四维(4D)干涉仪检测得到其面型精度为0.022λ,满足实际测量要求。

摘要：根据三级像差理论推导非球面干涉仪零检验的单透镜补偿器在几种检验光路中的初始结构参数计算公式。讨论最佳化设计方法，并给出设计实例。