摘要：设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺,首次制造出了D波段MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4～0.7 dB,中心频率(140±3)GHz,带外抑制为≥18 dB,样品主要技术指标与设计值符合.

摘要：该文提出应用微加工(Micromachining)技术设计制作太赫兹6阶并联电感耦合波导带通滤波器的方法。立足于现有工艺条件,通过分析加工因素对滤波器电磁性能的影响,将工艺和设计参数相互折中达到优化设计的目的,避免因工艺原因造成的器件性能急剧恶化,最终得到插入损耗小、可靠性好、可集成的太赫兹滤波器。采用微加工深刻蚀(ICP)、溅射电镀金属、键合等工艺步骤,最终制作完成的单个微加工滤波器划片后体积为24.0 mm×5.0 mm×1.66 mm。应用可调测试夹具固定微加工滤波器,通过功率计测试其功率衰减,得到其中心频率为141.5 GHz,3dB带宽为10.6%,中心频率处功率衰减小于1 dB,验证了工艺方法的有效性。

摘要：提出了一种Ka频段具有极窄通带的波导带通滤波器方案.采用模式匹配法对滤波器进行全波分析,设计并研制了一只相对带宽约0.1%的Ka频段窄带带通滤波器,典型性能为中心频率处插入损耗小于2.1dB,带内驻波比小于1.20:1,损耗起伏小于0.30dB,测试结果与全波分析数据一致,说明方案有效.

摘要：理论提出并研究了一种基于矩形腔的窄带金属-介质-金属波导滤波器.建立滤波器内电场的传递矩阵模型,研究了矩形微腔与直通波导间耦合特性对器件滤波特性的影响.同时,研究了耦合长度、矩形微腔腔长、传输损耗等因素对滤波带宽的影响.研究结果表明,对于不同的矩形微腔腔长,存在一个可使器件滤波带宽达到最窄的耦合系数.此外,当微腔腔长越长且传输损耗越小时,滤波带宽也将越窄.该研究为表面等离子体波导的研究与设计提供了一定的参考.

摘要：由于遗传算法表现出良好的全局搜索性能 ,因此本文将其应用于高性能E面波导滤波器的设计中 .针对传统遗传算法所存在的局部搜索能力差的缺点 ,本文在并行遗传算法的基础上 ,通过将原有群体划分为多个子群体 ,利用多个子群进行局部极值点的搜索 ,并利用群间迁徙 ,使改进后的算法收敛速度平均提高了 2～ 3倍 .数值实验表明算法具有较快的收敛速度和较好的全局搜索性能 。

摘要：本文用网络综合理论对镜像回收混频器中的波导滤波器进行设计。为避免复杂的计算,编制了通用的计算机辅助设计程序,其通用性体现在既可对新颖的、计算复杂的“立体平面条带电路带通滤波器”进行设计,又可对性能良好的“横向电感膜片带通滤波器”设计;既可设计切比雪夫带通滤波器,又可设计最大平坦型带通滤波器,设计中还可更换频率、频带、带内波动、带外衰减及膜片厚度,以取得优化的设计。本文还对电感膜片波导滤器的设计方法,公式来源与应用进行了综合分析,使设计思路系统化,为设计通用程序提供了依据。

摘要：为了减小加工误差对高频滤波器性能的影响,设计并加工了一款基于新型谐振柱的高频波导滤波器。首先设计了一个两腔波导滤波器,然后通过给腔内的方形脊两侧加载梯形凸台完成了滤波器的设计。运用Ansoft HFSS软件对滤波器进行了模型仿真和参数优化。仿真优化结果显示,滤波器中心频率为104 GHz,带宽约为3 GHz,插入损耗小于0.1 dB,回波损耗大于25 dB,且梯形凸台的加载有助于增强腔间耦合,将加工误差影响减小为原来的一半。最后用微电子机械系统(MEMS)工艺完成了滤波器的加工并对其进行了测试,测试结果与仿真结果大致吻合,为高频滤波器的设计和加工提供了参考。

摘要：本文利用等效电路的方法求得E面全金属膜片波导滤波器的初始尺寸值 ,经过对此滤波器的特性的分析结果与设计要求的比较对滤波器的尺寸加以调整 ,从而准确、快捷地完成滤波器的综合 ,对于E面金属膜片滤波器的工程设计有很大的帮助。

摘要：采用高精度三维电磁场分析软件对电感膜片建模,并与等效电路相结合设计波导带通滤波器。实验结果表明,样品测试结果与仿真结果基本吻合,该方法不仅适合波导滤波器设计,也适合其它谐振器耦合结构滤波器的设计。

摘要：针对基于近似公式方法设计介质加载型消失模波导滤波器精度不高的问题,提出了一种快速精确的计算机辅助设计方法。该方法通过建立消失模波导滤波器的等效电路模型,结合电路仿真和全波仿真的协同仿真技术,采用迭代仿真策略逐级确定滤波器物理结构尺寸,避免了耗时地全波仿真优化。最后,设计了一款6阶切比雪夫响应的介质加载型消失模波导滤波器。全波仿真结果显示滤波器频率响应特性满足设计指标,验证了设计方法的正确性和有效性。