摘要：束流光学系统中各个元件的接受相图变换到同一地点,得到整个系统的接受相图。束流光学设计的任务就是使束流的发射相图与系统的接受相图相匹配。从它们的匹配情况可以估计束流的传输效率。本文以LC-2B型离子注入机为例说明了这个方法的应用。

摘要：介绍了用于SiC注入机的离子束流吸极系统设计,吸极系统是一个三维可调的运动部件,吸极系统的电极板在X、Y、Z三轴伺服电机的驱动作用下实现3个方向精确可调;加载在电极板上的吸极高压和吸极抑制高压双重高压电场作用下,实现所需不同种元素离子或不同放电状态下的弧室内最优离子束流稳定的引出。

摘要：在超大规模集成电路生产线宽45 nm及以下的注入工艺环节中,离子束注入晶圆角度精度控制变得愈显重要,注入角度的细小差别引起掺杂元素在晶体管中的分布深度和范围的变化,进而导致器件参数和性能的巨大变化。研究表明注入角度控制取决于对注入离子束与晶圆面法线间水平和竖直方向角度测算的精确度;系统能精确测量出离子束注入角度,然后通过补偿驱动旋转靶台到相应需求的角度后注入,满足工艺需求。