摘要：193nm光学薄膜是 10 0nm步进扫描光刻机系统中主要用到的光学薄膜。分析了膜料光学常数的不确定性、高折射率膜材料消光系数、水吸收以及膜层表面粗糙度对薄膜光学性能的影响。结果表明 ,要镀制出反射率大于98 5 %的高反膜 ,必须将高折射率材料的消光系数k控制在 0 0 0 34以内 ,同时膜层表面的粗糙度σ控制在 1nm以内。膜层性能同时还受其使用环境中水气含量及其水气中杂质含量的影响 ,要减少膜层水吸收的影响 ,就必须提高薄膜的致密度 ,采用离子成膜技术 ,或者改变膜层的使用环境。在考虑相关因素的前提下 ,设计了在光刻机曝光系统中主要用到的增透膜、高反膜 。

摘要：设计了一种检测装置,用来对洁净介质中的颗粒粒径大小和数量进行统计。详细分析了用几何光学的光阻公式替代消光公式对大粒径颗粒的检测机理和前向光散射探测器检测小粒径颗粒时的计数技术。用该装置对标准颗粒物质进行了检测实验,结果表明:对于2μm以上的颗粒计数,效率能达到90%;对于1μm以下的颗粒也有较好的分辨能力,计数效率在70%左右。数值计算和实验结果证实了该装置具有较好的计数能力,能够表征洁净介质的污染程度。

摘要：基于光在长光程吸收池中的传输特性,设计了一套新型的大气污染颗粒物消光模拟测量系统。该系统由消光测量装置和大气污染颗粒物模拟装置构成。消光测量装置主要由激光器、开放式Herriot长光程吸收池和光功率计构成。在消光测量装置中,开放式Herriot长光程吸收池将某一波长的光经固定角度的镜片多次反射达到增大光程的目的;同时有利于对其内部反射镜表面的清洁,提高消光测量的灵敏度;还能够实时检测用于消光的颗粒物浓度。消光系数通过吸收池入口和出口处监测到的光功率计算获得,光功率的测量中利用差分法降低了激光器本身能量波动带来的误差,提高消光系数测量的准确性。通过与真实大气雾霾情况下激光雷达测量到的消光系数进行对比,验证了所搭建消光模拟测量系统的合理性。

摘要：设计和构建了发射波长为355 nm和532 nm的户外型全天时激光雷达系统,用于探测大气气溶胶和水汽。运用355 nm和532 nm的米散射、532 nm的偏振、氮气和水汽分子的拉曼激光雷达技术,用于对边界层结构、对流层气溶胶和云光学特性及其形态、水汽混合比进行连续探测研究。该系统结构紧凑,运输方便,具备远程操作、数据传输、一键式启动等功能。利用该系统对大气气溶胶和水汽进行探测,探测结果表明:在大气气溶胶的探测过程中,在重污染条件下混合层高度较干净天低,在0.5 km以下,而干净天在1 km左右;通过对消光系数、Angstrom指数和退偏振比分析可知,重污染条件下,底层大气气溶胶以球形粗粒子污染物为主,干净天底层大气气溶胶以球形细粒子污染物为主;在云层中,Angstrom指数明显减小,且出现负值,说明云粒子半径较大。在水汽探测过程中,采用自标定方法获得系统的标定常数为121,与已标定的激光雷达系统对比,误差在±0.3 g/kg以内;连续探测结果表明可对夜晚5 km及白天混合层以内进行探测。该系统满足产品化的需求,可广泛运用于大气环境的监测领域中。

摘要：考虑大气透射仪的光源不稳定性以及光学准直及大气环境的动态变化均会对其测量精度产生影响,本文在高精度导轨上设计了多点移动大气透过率测量系统,以便提高其大气透过率及消光系数的测量精度。该系统采用可移动测试平台,运用多点移动测量的方式测量大气透过率及消光系数。基于理论比较了多点移动大气透过率测量方法与传统大气透射仪测量方法的测量精度,证明了该系统的测量精度高于传统大气透射仪。将该系统与经过良好校正的Skopograph II型大气透射仪在大气环境模拟舱进行了较长时间的对比验证。结果表明,两套系统具有很好的相关性,91.93%的数据对偏差在10%以内,相关系数达0.985 7。在低能见度条件下,多点移动大气透过率测量系统的测量稳定性优于传统大气透射仪。得到的结果显示:该系统能够满足大气透过率和消光系数测量对准确性、稳定性和一致性的要求。

摘要：引入复折射率并利用特征矩阵法,研究了杂质的吸收对TE波和TM波缺陷模透射峰的影响。得出:杂质的消光系数对TE波和TM波的缺陷模透射峰都有显著的影响,但对TE波缺陷模的影响比对TM波缺陷模的影响更为明显。当消光系数一定时,TE波的缺陷模透射峰随入射角的增大而迅速减小,而TM波的缺陷模透射峰随入射角的增大而增大。利用这一特性可以设计光子晶体偏振滤波器。

摘要：针对能见度真值难以确定和能见度仪测量结果难以评价的问题，提出了一种基线长度改变的能见度测量和评价的方法，并采用整体最小二乘拟合方法来降低基线长度的定位误差和透射率测量误差对消光系数的影响，提高了消光系数的测量精度。为验证方法的有效性和评价该方法在不同能见度条件下的测量性能，设计了移动测试平台，在大气模拟舱模拟了一次能见度由高到低持续变化的过程，采用多点多次测量的方式测量了环境的消光系数及能见度。实验结果表明该方法在不同能见度条件下，均有较高的测量稳定性和一致性。确定系数随能见度的降低而增大，能见度大于3000m时，确定系数也达到0．9以上，低能见度时可以达到0．99。各种能见度条件下，单位权方差在10-4～10-2之间，表明该方法测量的离散性很小，测量精度高，可作为能见度仪校正和标定的参考。

摘要：理论分析和数值模拟计算了不同温度和不同体积密度下磁性液体的折射系数和消光系数,以及浸没住磁性液体中光纤端面处的反射率,得到了,体积密度和外加磁场强度对磁性液体的折射系数和消光系数的作用比较大.而温度对折射系数和消光系数的影响不大。实验制作了光纤端面浸没在磁性液体中的传感元件,设计了测量光路系统,得到了反射率随外加磁场强度变化的情况,与理论分析结果相吻合。由理论和实验可知,磁性液体的消光系数不仅跟体积密度和温度有关,还与外加磁场强度有关,对光纤端面处的反射率有一定的影响。

摘要：环保型CuInSe_(2)量子点具有高消光系数和宽光谱吸收范围,在光电化学催化应用中展现了良好的发展前景.然而,CuInSe_(2)量子点较低的载流子分离能力和严重的界面电荷复合降低了其光电化学性能,制约了其应用.因此,我们设计并合成了具有Ⅱ型能带排列的CuInSe_(2)/CuInS_(2)核/壳结构量子点,以促进载流子分离、减少界面缺陷;进一步通过调节In/Cu前驱体的摩尔比,产生铜空位.光物理性质研究表明,导带电子-铜空位捕获的空穴之间的辐射复合成为主要的复合方式,有效延长了载流子寿命,促进了载流子分离.因此,基于富铜空位的CuInSe_(2)/CuInS_(2)核壳量子点的光阳极获得了~8.0 mA cm^(-2)的最大饱和光电流密度,该性能是当前报道的CISe基量子点光电化学电池中的最高值之一.本工作提供了一种通过表面或内在缺陷的调控来促进光电化学应用中的电荷载流子分离和传输的有效方法.

摘要：隧道能见度与行车安全有重要关系,对隧道能见度进行实时监测可以为隧道通风换气提供有力依据。基于透射法能见度检测原理,设计并搭建了一套能见度检测系统用于隧道能见度的自动检测。检测系统主要由激光二极管、分束器、硅探测器和信号处理单元等部分构成。采用高响应度硅探测器并设计了跨阻抗放大电路以满足在低能见度下测量需求。两硅探测器分别检测经光学路径衰减前后的光强并输出对应的光电流,信号处理电路对探测器两路输出进行放大滤波和A/D转换后,反演出消光系数。使用固定透过率滤光片模拟隧道环境,在实验室环境下对该检测系统性能指标进行测试。实验结果表明:消光系数测量范围3.37km-1118.82km^-1,最大相对测量误差为8.4%,稳定性优于0.12km^-1。