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检索条件"主题词=液相外延系统"
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液相外延系统中高指标热场的实现
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《微细加工技术》2000年 第3期 70-74页
作者：袁章其 罗卫国 蒲勇信息产业部电子第48研究所长沙410111 
高精度、高稳定性、高降温速率的热场 ,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。
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