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体硅热膜传感器单片集成工艺的研究
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《微纳电子技术》2010年 第7期47卷 437-442,450页
作者：邹学锋 沈路 何洪涛中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 
针对MEMS热膜式传感器的发展趋势和在实用化过程中存在的问题,提出了一种新型的单片电路和体硅MEMS热膜式传感器实现集成制造的嵌入式CMOS工艺技术,解决了MEMS制造工艺和CMOS集成电路工艺之间存在的兼容性问题。通过这种嵌入式CMOS工艺...
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