摘要：提出了一种新的防伪包装原理，根据该原理设计了将激光光刻技术用于食品的防伪包装，分析表明，这是一种较先进的激光防伪包装技术，可有效地防止各种食品的制假活动。

摘要：采用滴注法制备了氧化石墨烯薄膜进行激光光刻,通过显微观察证实了还原态氧化石墨烯的生成,根据薄膜的方阻测试确定了最优的光刻参数。然后,在非晶硅组件电池的背面制备氧化石墨烯薄膜,光刻出平面叉指状电极。5个单节微超级电容的超薄电极进行串联,具有高工作电压,实现了对光伏电能的存储。结果表明该储能器件具有高循环稳定性,50次充放电循环的容量保持率为99.85%。该研究为设计制作用于光伏组件的一体化储能系统提供了新思路。

摘要：讨论了相移掩模提高光刻分辨力的基本原理 ,提出了一种抗蚀剂相移器制作衰减相移掩模的新方法 ,利用自行设计、建立的 Kr F准分子激光投影光刻实验曝光系统进行了实验研究 ,给出了实验结果 ,并与传统光刻方法作了比较。

摘要：搭建了劳埃德式紫外激光干涉光刻系统,利用劳埃德镜产生双光束分波阵面干涉,通过精确调整、控制光束的入射角,设计了曝光图样.基础实验部分可以完成一维光栅制备,分析光栅周期与波长、入射角的关系;在拓展实验中,制备设计部分可以完成二维点阵或准晶结构制备,前沿拓展部分可以制备表面等离极化激元微腔.基于劳埃德式激光干涉光刻实验操作便捷、展示度高,同时涵盖光干涉原理的介绍和光路调整、样品制备和表征等实验内容,有助于学生掌握激光干涉光刻的实验技能.

摘要：为解决传统光学检测方法存在的对已刻(干刻)区域无法检测、潜在曝光可能性、系统光路复杂以及灵敏度较低等缺点,提出了一种可用于激光直写光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统。详细介绍了系统的原理、系统设计、实验方法以及误差分析等。根据流量传感器检测得到的气流变化,可以判断光刻系统中聚焦系统是否离焦以及离焦量的大小。再将此气流变化量转化为电压值反馈至压电陶瓷(PZT)执行机构,通过执行机构实现自动聚焦。由于喷嘴挡板系统可以建立喷嘴挡板间距与喷嘴内部压力的关系,而流量敏感度要高于压力敏感度,故采用了热线探针来检测系统流量变化。实验证明,该方法能够准确检测系统离焦量,系统测量精度可达100nm,频率响应可达20Hz,量程可达20μm。而且在一定范围内喷嘴挡板间距与空气流量变化具有非常好的线性关系。

摘要：论述了相移光刻掩模技术和１９３ｎｍ准分子激光光刻技术的有关理论、实现方法、光学系统设计、透镜材料、光致抗蚀剂以及应用方面的研究进展。

摘要：数字化制造系统的运行是以准确高效的刀具、设备、物料与在制品等资源的数据采集为基础。传统的刀具管理手段由于不能区分同批次刀具中不同个体,因而无法自动识别每个刀具并采集跟踪每个刀具的实时状态及使用时间。本文研究了基于二维Data Matrix条码的刀具直接信息标刻与识别技术,通过试验研究了刀具标识技术的可靠性,并讨论了提高刀具直接标识可靠性的辅助工艺方法,为刀具标识技术的工程应用提供了经验和依据,从而很好地用于解决数字化制造系统中刀具的信息采集问题。

摘要：刀具管理是数字化生产线生产管理系统的重要组成部分,目前已有的刀具管理系统无法跟踪刀具在整个使用过程中的实时状态和信息,本文结合数字化生产线的应用需求研究开发了刀具信息管理系统,采用激光光刻技术在每把刀具刀柄上标刻代表刀具唯一身份的二维条码,通过与生产线上部署的条码识读设备、数控机床刀库、DNC系统的集成实现对刀具任意时刻位置、状态及使用信息的动态监控,为生产管理人员反馈更全面、准确的刀具信息,帮助做出正确决策。

摘要：介绍工作波长为 1 93nm的投影光刻物镜研究设计 ,对波长、数值孔径和分辨力的选择 ,光学结构型式的确定 ,以及材料和试制加工工艺的考虑 ,然后给出一个数值孔径NA =0 .6 2 ,光学结构为双远心的投影光刻物镜设计结果。

摘要：随着我国人口老龄化不断加剧,无牙颌修复的任务非常艰巨。传统无牙颌的修复过程至少需要5次就诊才能完成,而初戴后的修改可能需要更多的次数。1994年,Maeda等[1]发表了第1篇用激光光刻技术制作全口义齿的科学论文。2012年,Goodacre等[2]基于计算机辅助设计与制造(computer aided design/computer aided manufacture, CAD/CAM)的理念,第1次使用五轴切削仪切削预成树脂块,完成了数字化全口义齿的临床病例。