摘要：传统的线位移传感器校准方法在实际应用中存在一些局限性,例如无法消除固有误差、环境因素影响等。因此,研究设计新的校准装置对于提高线位移传感器的精度和可靠性至关重要。目标是设计一种高精度、可靠性强的校准装置,以减小线位移传感器的固有误差并提高其测量准确性。通过对不同的校准装置和技术的研究和比较,探索了最佳的校准方案,并进行了实验验证。

摘要：根据液位计的工作原理及JJG 971-2019《液位计》检定规程,本文利用连通管中液位保持等高的特性,以激光干涉仪为主标准器,研制了液位计专用检定装置。同时,提出相应的检定方法进行量值溯源,并对其示值误差进行不确定度评定。结果表明:该装置操作便捷、适用性强,能有效提升检定精度。

摘要：为达到更精确预测机床导轨几何误差的目的,设计一种建立在公差基础上的几何误差预测方法,并构建表面形貌误差和几何误差的映射关系。采样双频激光干涉仪具有高精度、快速响应以及高分辨率的优势,充分满足高精度位移测试的需求。以等距方式对X轴导轨行程设置了37个测量点,滑板到达各测量位置时分别经过6 s停留完成采样过程,仿真结果的圆形标记位置拟合曲线R^(2)参数可以达到理想的拟合精度。实际测量数据与预测结果间存在0.15μm的差值,相对于几何误差测试结果,大部分残差都很小,最大残差被控制在测量结果10%以内。实验结果验证采用该方法能够满足以公差为依据的机床导轨几何误差准确预测。该研究对提高机床精度具有很好的理论指导意义,易于实际推广应用。

摘要：介绍了利用激光干涉仪直线度镜组和角度镜组检测直线度的测量原理、检测方法及注意事项,并着重对两种检测方法进行对比分析,依托检测数据分析两种检测方法的精度、优势及应用环境的区别。

摘要：介绍用于HL-2A偏滤器托卡马克装置的远红外(FIR)激光干涉仪及其在等离子体电子密度测量中的应用.一种新的软件比较相位技术被用来计算相移.自恰式光路设计方法用于内壁挂镜光路的设计.防污染装置延长了真空室中反射镜的使用寿命.电子密度测量结果表明偏滤器位形的等离子体放电减小了等离子体与第一壁的相互作用,等离子体密度比孔栏放电位形的略为偏低.

摘要：激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。

摘要：研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法,实现了干涉仪的光学4细分结构,提高了测量灵敏度;构建4路正交探测结构,实现了干涉仪的无源偏振调制,扩大了干涉仪测量范围;采用光路集成化的设计方法,实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究,结果表明,静态位移测量误差小于±0.3 nm,振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2;上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点,可被广泛用于纳米测量的各个领域。

摘要：随着市场对坑式龙门铣(工作台固定龙门移动)规格要求的不断加大,其床身导轨间的跨距也相应加大.在检测床身导轨的平行度时(跨距≥4m),常规的检测方法测量误差偏大且数据不稳定,不能满足设计要求.这就促使厂商拓展思路,另辟蹊径,寻找其他方法来解决这一问题.

摘要：激光干涉仪已成为PCB数控机床中测量定位与重复定位精度的标准仪器。针对测量数据不稳定的问题,分析激光干涉仪测量原理,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系;对生产现场环境模块数据进行测量,环境模块变化量对波长总的补偿量为0.23μm,与实际误差相比,波长变化导致的误差几乎可以忽略,通过测量得出测量精度不稳定的主要原因是横梁X轴连接杆的变形。针对该原因进行了结构的重新设计,实现了精度补偿及测量的稳定。

摘要：为解决微动平台末端六维位姿的高精度测量问题,研究基于双光束激光干涉仪的位姿测量方法。利用空间正交布置的三台双光束激光干涉仪,测量微动平台上3个待测平面的线位移和角位移,通过测量系统的数学模型计算得到微动平台的六维位姿。建立了测量系统的数学模型,设计了高精度的简化求解方法,分析了各系统误差对测量结果精度的影响,为建立微动平台高精度位姿测量系统提供了理论基础,并成功应用于实际微动平台的标定。