摘要：稳定可靠的灯丝加热电源是保障EB-PVD设备长期稳定工作的关键部件之一,采用三级AC-DC拓扑、低漏感的灯丝变压器、双闭环控制策略设计制造了灯丝加热电源。并将所研制灯丝加热电源与EB-PVD设备其它部件等进行系统集成,组成EB-PVD试验装置,对所研制灯丝加热变压器输入电压波形和最大输出电流进行检测,灯丝加热电流达到150 A以上;并且在此装置上测试了灯丝加热电流与输出电子束流的对应关系。试验结果表明:所研制的灯丝加热电源能够满足EB-PVD设备工作需求。

摘要：为了提高EB-PVD设备性能、增强其工作灵活性,基于三级AC-DC拓扑电路、多路逆变电路串并联技术、双闭环控制策略分别设计制造了加速电源、灯丝加热电源,并将所研制加速电源、灯丝加热电源与两极电子枪、真空系统、控制系统等进行集成,组成EB-PVD试验装置,分别测试了该装置输出的高压、最大束流、灯丝加热电流、功率变压器输入波形等。试验结果表明:所研制的逆变电源输出高压达到-30k V,束流输出时逆变电源输出特性为恒压特性;灯丝加热电流最大150A,最大束流达到2000m A。这表明所研制的逆变电源满足EB-PVD设备工作需求。