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热熔回流工艺参数对微球形结构高度影响的仿真研究: 收藏
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引用; 《郑州大学学报（工学版）》2011年第2期32卷 37-41页; 作者：蒋炳炎李代兵陈磊 Stefan KIRCHBERG中南大学现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室湖南长沙410083 克劳斯塔尔工业大学聚合物材料和塑料工程研究所; 应用Marc软件仿真光刻胶熔融变形过程,研究热熔回流工艺参数对尺寸规格D×h为Φ500μm×66μm的微圆柱光刻胶熔融后微球形结构高度的影响.对仿真结果进行正交实验法分析,得出最佳工艺参数组合;对仿真结果进行单因素实验法分析,...; 应用Marc软件仿真光刻胶熔融变形过程,研究热熔回流工艺参数对尺寸规格D×h为Φ500μm×66μm的微圆柱光刻胶熔融后微球形结构高度的影响.对仿真结果进行正交实验法分析,得出最佳工艺参数组合;对仿真结果进行单因素实验法分析,研究不同工艺参数对微球形结构高度的影响规律.结果表明,最佳工艺参数组合:加热速率1℃/s,加热温度110℃,保温时间45 min;工艺参数对微球形结构高度的影响顺序为:保温时间>加热速率>加热温度.; 来源：详细信息评论

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