摘要：微波等离子体相对其它等离子体而言有很多的优点,具有极高的工业应用价值。但在大气条件下,大体积的微波等离子体较难获得。为达到产生该种微波等离子体并将之应用的目的,特设计了一台环形波导反应腔设备并从事了等离子体激发的相关研究。介绍了该设备的设计思路,给出了常用的非磁化微波等离子体工作气体的击穿曲线,通过软件仿真得到了反应腔内的电场分布,并陈述了微波等离子体反应的基本现象。结合试验的结果,证明了软件仿真的正确性和装置的有效性。目前,该装置可在大气压下顺利激发一定体积的氦、氩等离子体。

摘要：微波等离子体可以通过无极放电方式产生,相对其它放电方式而言,容易在高气压下维持较高容量,有较好的工业应用价值,但目前在较高气压下使用的微波等离子体装置还不成熟。为此,介绍了一种新型的微波等离子体反应腔,包括该腔体的结构和设计原理,并将其与现有的纯狭缝式微波反应腔作了比较,以说明两缝结合腔体的优点;通过引入喷气电离管前后微波激发所需要的能量变化以说明电离管的作用:它利用环形波导的狭缝天线和大缝向腔内传输微波以激发和维持等离子体,这种两缝结合的形式使反应腔内高场强区域扩大,有助于大面积等离子体的产生;同时,该腔体还配套有一喷气电离管,通过其产生的电离流的作用,有效降低了微波激发等离子体所需的能量。通过摄像头观察到的实验现象表明,在大气压下其产生的等离子体是相对均匀的,且覆盖面积大,可有效的应用于工业中。

摘要：为使激发微波等离子体的腔体设计更便捷并详细了解腔内的电场分布,迫切希望有仿真工具支持。该文介绍了一台环形波导微波等离子体设备,利用一种有限元软件对反应腔内的电场分布和功率密度进行仿真,并运用光电探头和水负载温升法实际测量反应腔内的对应参数。实验结果表明:反应腔内的电场分布、功率密度均与仿真结果大致接近,证实运用此种计算工具对微波等离子体反应腔进行数字化设计是可行的。同时,该软件仿真得到的腔内电场分布,能够为微波等离子体激发过程的研究提供指导。

摘要：硅基集成平台由于其较高的折射率差,适合用于大规模、小尺寸、高密度器件的集成。本文提出了一种基于硅基光子学的光学涡旋发射装置,工作波长在1600~1800 nm范围,通过改变输入光的波长可以输出不同拓扑荷的涡旋光束。同时,通过在环形波导外侧壁刻蚀二阶布拉格光栅的方法,克服了固有的高折射率对比度带来的左旋圆偏振光和右旋圆偏振光的叠加问题,得到了高纯度的单一圆偏振标量涡旋光束。

摘要：TN256 2003064214一种新结构的硅基无源环形波导式谐振腔=New configurationof passive Si-based ring waveguide resonant cavity[刊,中]/郭伟(浙江大学信息与电子工程学系.浙江,杭州(310027)),金仲和…∥半导体光电.-2003,24(1).-29-31,65提出了一种新结构的光学环形谐振腔。该谐振腔由四根直波导和四个拐弯角处集成的全反射镜围成一个方形环构成,这种结构免去了以前的波导式环形谐振腔中必需包含的弯曲波导。设计了谐振腔的输入和输出结构,并通过计算机辅助设计软件对该设计进行了优化。图9参4(严寒)TN256

摘要：0117307微型光波导陀螺用半导体光源线宽特性研究[刊]/易向阳//半导体光电.—2001,22(2).—144～146(E)0117308新环形半导体激光陀螺仪[刊]/伍晓明//红外与激光工程.—2001,30(3).—202～205(E)介绍了一种新型半导体环形激光陀螺仪,它集合了传统He-Ne激光陀螺仪简单的结构方案和光纤陀螺仪成本低廉的优点。从理论上分析了该陀螺仪的精度,及其与各参数之间的关系,并提出了信号读出和转向判别的处理方法。最后,从集成光学的角度,给出了单片的半导体激光陀螺仪的设计结构。理论计算表明,当无源环形波导谐振腔的直径为40mm时,单片的集成光学半导体激光陀螺仪的精度可以达到0.032rad/s