摘要：针对现有机器人接触性操作任务中作用力建模方法表征能力不足、通用性差的问题,以玻璃基板卸片这一实际生产过程为例,对复杂接触动力学的建模方法进行研究。考虑到玻璃基板铲起过程中的作用力受多个界面接触动力学的影响,表现出多模态、非线性、非平稳性的特性,将物理先验知识以不同形式融合在深度学习模型的设计以及训练过程中,提出一种结合深度学习与机理模型的铲起过程作用力预测方法——针对玻璃基板铲起过程的受力特点,提出结合多尺度卷积核、注意力机制以及长短时记忆网络的深度学习模型结构;提出动力学参数随机化方法与基于材料力学、断裂力学的接触力补偿措施,使仿真训练数据更鲁棒地反映真实接触情况;在均方误差损失函数基础上,针对不合理的物理“穿透”行为引入附加损失函数进行网络训练。实验结果表明,所提方法在作用力单步预测中的均方根误差为0.286,可以准确地预测水平与竖直两个方向的作用力,多步预测结果也可以满足应用需求,预测性能优于现有的主流模型。消融实验表明,文中方法的优良预测性能是局部特征提取模块、注意力机制模块与时序特征提取模块3个组件共同作用的结果,同时,所提出的改进损失函数提高了模型训练的稳定性。文中方法可以应用于类似场景中对机器人与环境的接触力预测。

摘要：以玻璃基板平面度误差检测为应用场景,研发了一种差动光谱共焦式平面度误差测量系统。依据仪器设计原则和工程任务,完成了测量系统误差分析和精度设计,确定玻璃基板平面度误差测量系统测量原理和总体方案,并完成测量系统设计,包括机械结构、控制系统和系统软件等。在标准环境条件(温度20℃,相对湿度65%)下,分别以二级平板和玻璃基板为被测对象,开展系统结构和精度验证实验;平面度误差分别为10.41μm和4.20μm。测试结果表明,该系统能够准确地对玻璃基板平面度误差进行检测,且测量精度得到提高。

摘要：通过对玻璃、陶瓷等不同基板板上芯片(COB)封装的发光二极管(LED)的光、电、热参数进行测试与比较,发现玻璃基板COB封装的光通量与陶瓷基板相近。设计了背部刷银层和铝卡口接触的散热方式,改善了玻璃基板COB的导热性能。当银层厚度75μm时,点亮稳定后,LED胶面温度为91.5℃,达到了较好的散热和发光效果。

摘要：为了提高氯化法回收LCD中铟的效果,降低Si O_2和Al_2O_3对氯化过程的干扰,采用Na OH对液晶显示器玻璃基板粉末中的硅和铝进行了预先溶出规律研究。首先分析了LCD粉末中Si O_2和Al_2O_3的含量、形貌以及铟的浸出变化,然后计算了Si O_2和Al_2O_3的脱除效率。在条件实验基础上通过正交实验设计得出优化实验条件。研究表明,在液固比为90∶2、温度95℃、溶出时间2 h、碱度0.56 g/L的最佳工艺条件下,Si O_2的脱除率为80.88%、Al_2O_3的脱除率为83.30%、二者总的脱除率为81.30%,洗涤液中没有发现铟的溶出,碱溶后的物料表面产生大量均匀的孔状结构。这将对液晶显示器玻璃基板粉末的资源化与铟的富集有重要意义。

摘要：微电子用玻璃基板加工过程中需要将来料的大板玻璃切割分断成小板,以往采用机械定位的方式,通过定位治具与工件进行机械接触,工件的侧边受到定位治具的压力,易发生形变或者因外力产生崩口或裂痕等缺陷,良品率较低。针对上述问题,设计了基于视觉定位的玻璃基板切割分断生产设备,论述了玻璃基板切割分断机构设计的整体方案、结构组成、视觉定位系统的功能及控制流程。上料搬运、切割和分断过程中分别采用线阵相机识别系统进行初对位和自动对位,减少了单片玻璃的边破和角破,提高了单片玻璃的边缘质量。

摘要：化学机械抛光(CMP)技术是实现平板显示玻璃基板减薄和表面光洁的一道关键工序。CMP机器对待加工件(即玻璃基板)的夹持普遍采用吸附垫吸附的方式,抛磨工艺完成后需要将玻璃基板从吸附垫上剥离下来(或称为卸片),目前业界均通过人工操作实现卸片。为实现自动化卸片的需求开展研究,主要针对卸片初期破除吸附的过程,研究了破除玻璃吸附的受力特点,提出从直角处铲起玻璃破除吸附作用的方法并设计了铲刀的结构;建立了玻璃基板剥离过程的质点动力学模型,通过对模型的分析,得到了产生脱附的基础条件;分析了破除吸附过程中铲刀的阻力功耗,建立了铲刀功耗模型,分析了铲刀倾角、水流冲击等因素对阻力功耗的影响,得出铲刀倾角设计为15°时阻力功耗和脱附速度综合性能佳;设计了凸弧形滑移面铲刀,通过试验检验了理论分析的正确性和破除玻璃基板吸附方法的可行性。

摘要：目前,电子信息产品应用广泛,液晶显示器是电子产品的必备元件。低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器(LTPS TFTLCD)因具有解析度高、响应速度快、能耗低、画质高、性能高等优势而成为继非晶硅之后的新一代有源矩阵液晶显示器。由于LTPS高温制程要求玻璃基板具有较高的应变点和软化点,对玻璃的实际生产提出较大挑战。目前LTPS玻璃基板市场集中度很高,技术基本被国外厂商垄断。因此,开发具有自主知识产权的LTPS玻璃基板具有突破性的意义。本文详细介绍了LTPS TFT-LCD用玻璃基板的组成、性能及制备方法,指出了玻璃基板制备的工艺难点。归纳了玻璃基板的国内外研究现状,分析了玻璃基板的发展趋势及应用前景,为我国自主研发生产LTPS TFT-LCD用玻璃基板提供参考。

摘要：本文介绍了翻转输送机改进的方法和思路,根据偏置曲柄滑块机构简图进行了方案的确定,重点分析了摆臂的受力,并进行了优化设计。

摘要：液晶玻璃基板需要进行垂度测量，以检测玻璃的垂度是否符合要求。传统方法由于操作过程不合理，存在操作误差，并且由于多点测量时间不一致，有时间差，也会带来误差，造成测量不准确。为了消除测量误差，提高测量准确度，设计了一套玻璃基板垂度自动测量装置。该装置可以自动升降玻璃基板，自动调整支撑架间距并且使用光电测距传感器同时测量不同点间距，从而得到玻璃的垂度值。经过实验验证，使用垂度测量装置测量精度达到0.2mm，保证了玻璃垂度测量的准确性和可靠性。

摘要：化学机械抛光(CMP)是玻璃基板加工的一道重要工序,目前对玻璃基板的夹持方式普遍采用吸附垫进行吸附,抛光后需要将玻璃基板剥离(或称为卸片)。针对自动化剥离过程中玻璃基板容易碎裂造成经济效益损失,基于断裂力学理论,对玻璃基板的剥离过程进行了建模与分析,揭示了玻璃基板剥离与碎裂之间的竞争机制,并定义了竞争指数R来表征剥离与碎裂的竞争行为。为了量化竞争指数R,1)以宏观能量守恒为依据,设计并开展剥离实验,获得了玻璃基板与吸附垫界面的临界粘结断裂能;2)采用有限元软件ANSYS结合虚拟裂纹闭合技术(VCCT)仿真计算得到界面剥离能量释放率。应用竞争指数R,评估玻璃基板厚度与剥离速度对剥离与碎裂竞争行为的影响,确定了抛光工艺中常用的两种厚度的玻璃基板的临界剥离速度,最后开展玻璃基板的自动化剥离试验,试验结果表明本文提出的竞争机制及临界剥离速度的计算方法对玻璃基板无损剥离的自动化实现具有一定的指导意义。