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检索条件"主题词=电场效应传感器"
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一种用于生物检测的半导体电场效应传感器
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《半导体光电》2012年 第4期33卷 474-477,506页
作者：袁寿财 王紫玉 范小林赣南师范学院物理与电子信息学院江西赣州341000 
设计了一种简化的铝栅MOS半导体器件制作工艺流程,用6张掩模版成功制作出了基于表面电场效应原理的生物检测硅芯片传感器,采用SiO2-Si3N4复合栅介质层及耗尽型器件结构,以增强器件的识别与检测灵敏度。该传感器与常规铝栅MOS晶体管相比...
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