摘要：针对电子特气中痕量水分的测量,设计了一套稳定可靠的气体取样系统。并对两种新的电子特气水分测量方法(石英振荡法和光腔衰荡法)及其代表性仪器进行研讨。两种分析方法及取样系统均适用于大多数电子特气,有效地保证了水分测量结果的准确可靠。

摘要：本文简要介绍了高纯硅烷灌装在国内发展的历程,国内工程设计的标准、规范现行情况,重点介绍了在高纯硅烷灌装工程设计中的关键设备、管道材料,密封面的选型以及灌装系统的真空置换、压力检漏、气体排放等方面的设计经验和应用注意事项;详细介绍了目前高纯硅烷灌装的在线分析、自动化水平和灌装区设施布置的原则。

摘要：高速低温离心泵用以替代市场上现有的低温往复泵和低速多级低温离心泵。该类型的低温离心泵采用高速设计,从而减小叶轮直径,提高泵效率,使泵整机体积减小,安装维护方便,能极大的降低运行、安装和维护的成本。该泵通过齿轮装置增速,润滑油无需外循环系统,直接将润滑油装入齿轮箱内,通过自循环实现润滑和降温;泵冷端采用成熟高效的水力模型设计叶轮和蜗壳,并选用寿命长,维护方便的机械密封作为泵轴封,特别适用于电子厂和空分后备装置中间断使用的工况;同时该泵配有气体保护系统,电子特气中对气体纯度要求很高的场合也能适用,做到介质气体零污染。

摘要：在常温下,八氟环丁烷是一种无毒气体,具有较低的温室效应指数和适宜比例的碳/氟比,被广泛用作制冷剂以及半导体芯片制造工艺中的蚀刻剂和清洗剂。随着低纳米制程芯片的飞速发展,对八氟环丁烷纯度的要求越来越严苛,给高纯八氟环丁烷的纯化工艺带来了极大挑战。综述了现阶段八氟环丁烷的制备方法和纯化方法:(1)工业上广泛用于合成八氟环丁烷的方法是四氟乙烯二聚法;(2)八氟环丁烷的纯化方法包括精馏、吸附、化学转化和膜分离。通过单一的纯化方法很难得到电子级八氟环丁烷,需要多种纯化技术联合使用才能得到纯度>5N级的八氟环丁烷。

摘要：介绍了2018年中国特气的发展,展望了中国特种气体的未来发展,强调我国特种气体走自主发展、正规化、规模化、国际化的重要性。