摘要：简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理 ,电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度 ,已成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上 .本文提出把电子隧道效应应用到微机械振动陀螺的输出检测 ,并分析了输出为角振动和线振动的结构设计方案及检测方式 .

摘要：针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足,根据电子隧道效应的特点,设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪,运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真.把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测,结构简单,功耗低,抗干扰能力强,可靠性好,线性度高,具有很高的灵敏度,尤其在提高微机械振动陀螺的测量精度和灵敏度的方面显示其优势.

摘要：介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。