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红外显微系统应用简述
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《云光技术》2015年 第2期47卷 18-23页
作者:徐思轶 李茂忠 王彩萍 刘福平 尹爽 汪兴昆明物理研究所云南昆明650223 云南北方驰宏光电有限公司云南昆明650217 
随着红外显微系统设计水平和制造水平的不断提升,红外显微系统已不仅仅是停留于实验室中的设计样品。目前红外显微系统的应用十分广泛,主要应用在微电子集成加工与设计、材料检测、微纳米技术等很多实际领域中。随着红外显微系统在更...
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