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双极性脉冲UMS电源的研究: 收藏
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引用; 《电力电子技术》2013年第11期47卷 86-88页; 作者：陈桂涛孙天乐孙强西安理工大学自动化与信息工程学院陕西西安710048; 研制了一台高性能双极性脉冲非平衡磁控溅射(MS)电源。该电源以FPGA为控制系统核心,采用交变脉冲单元实现双极性脉冲输出,并针对脉冲条件下的等离子体负载特性及MS工艺需求,设计了负载匹配电路、多级电弧管理策略和数字脉冲复合调制(DP...; 研制了一台高性能双极性脉冲非平衡磁控溅射(MS)电源。该电源以FPGA为控制系统核心,采用交变脉冲单元实现双极性脉冲输出,并针对脉冲条件下的等离子体负载特性及MS工艺需求,设计了负载匹配电路、多级电弧管理策略和数字脉冲复合调制(DPCM)策略。搭建一台10 kW样机并进行了测试,结果表明该电源具备多变量脉冲输出特性及良好的电弧管理能力,为MS工艺的研究与探索提供了重要的技术支撑。; 来源：详细信息评论

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