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大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究
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《真空科学与技术学报》2008年 第4期28卷 281-285页
作者:葛洪 张晓丹 岳强 张发荣 赵影 赵颖南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学)天津300071 天津新华职工大学天津300040 
本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响。研究结果表明:对于给定激发频率...
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