摘要：在p型(100)单晶Si基衬底上,利用磁控溅射设备完成直流溅射Mo/Ti布拉格反射层和射频反应溅射AlN压电层,用光刻微加工工艺设计了不同谐振面积与电极图案的Ti/Au上电极,在优化工艺条件下制备了氮化铝基体声波质量传感器,比较分析了不同电极图案和谐振面积对传感器性能的影响。研究表明,电极图案相同时,谐振面积为10 000(100×100)μm2的器件电学性能最好,谐振面积相同时,电极图案为圆形的损耗最小;内角为直角的正方形损耗最大,内角为钝角的五边形损耗居中。

摘要：采用有限元方法,通过商业求解软件MAXWELL,解决电容触摸屏潜在的静电场问题,对触摸屏面板布局进行了描述,主要性能指标进行了确定.利用仿真模拟的方法,研究电容触摸屏具体图案对电容屏触摸灵敏度的影响.对于具体菱形挖空图案,通过软性电路板材料(FPC)屏对氧化铟锡材料(ITO)屏进行了模拟仿真计算和实验测试,并且进行数据比较,验证了此仿真方案可以测试不同电容屏图案的灵敏度,不需要生产出ITO真屏对灵敏度进行测试比较,大大节省了触摸屏优化设计的成本.